| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 研究背景 | 第10页 |
| 1.2 MEMS安保机构的国外研究进展 | 第10-13页 |
| 1.3 MEMS安保机构的国内研究进展 | 第13-15页 |
| 1.4 MEMS安保机构国内外研究概况分析 | 第15-16页 |
| 1.5 本论文的研究内容 | 第16-18页 |
| 2 PyroMEMS安保机构的整体设计与双悬臂梁安保滑块制备 | 第18-31页 |
| 2.1 PyroMEMS安保机构的设计原理 | 第18-19页 |
| 2.2 安保机构及其起爆序列的设计 | 第19-23页 |
| 2.2.1 安保机构的结构设计 | 第19-21页 |
| 2.2.2 PyroMEMS微驱动器 | 第21-22页 |
| 2.2.3 基于PyroMEMS安保机构的传爆序列 | 第22-23页 |
| 2.3 安保机构的作动模式 | 第23-24页 |
| 2.4 双悬臂梁安保滑块的制作 | 第24-29页 |
| 2.4.1 PMMA安保滑块 | 第24-27页 |
| 2.4.2 硅安保滑块 | 第27-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-31页 |
| 3 PyroMEMS驱动器的设计与制作 | 第31-47页 |
| 3.1 镍铬丝换能元 | 第31-34页 |
| 3.2 半导体桥换能元 | 第34-40页 |
| 3.2.1 半导体桥的设计 | 第34-35页 |
| 3.2.2 半导体桥换能元的加工 | 第35-36页 |
| 3.2.3 半导体桥电爆性能 | 第36-40页 |
| 3.3 微尺度装药 | 第40-44页 |
| 3.3.1 点火药及其配比的选择 | 第40-41页 |
| 3.3.2 点火药含能油墨的配制及装药 | 第41-44页 |
| 3.4 换能元对含能油墨的点火可靠性 | 第44-45页 |
| 3.5 点火药燃烧性能表征 | 第45-46页 |
| 3.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 4 气体发生剂性能表征 | 第47-56页 |
| 4.1 气体发生剂配方设计 | 第47-48页 |
| 4.2 气体发生剂理论计算 | 第48-53页 |
| 4.3 气体发生剂性能表征 | 第53-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 5 PyroMEMS安保机构的力学性能模拟与作动性能实验 | 第56-66页 |
| 5.1 安保滑块固态双悬臂梁的断裂准则 | 第56-57页 |
| 5.2 安保滑块力学性能模拟仿真 | 第57-62页 |
| 5.2.1 安保滑块固态双悬臂梁力学性能模拟 | 第57-60页 |
| 5.2.2 安保滑块承受驱动方向过载能力模拟 | 第60-62页 |
| 5.3 PyroMEMS安保机构的作动性能实验表征 | 第62-65页 |
| 5.3.1 PyroMEMS安保机构的制备 | 第62-63页 |
| 5.3.2 PyroMEMS安保机构作动性能实验 | 第63-65页 |
| 5.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 6 结论与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 结论 | 第66页 |
| 6.2 创新点 | 第66-67页 |
| 6.3 展望 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 附录 | 第72页 |
