| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-38页 |
| ·表面微/纳米结构研究的背景意义 | 第14-16页 |
| ·制备表面微/纳米结构方法 | 第16-18页 |
| ·自下而上方法 | 第16-18页 |
| ·自上而下方法 | 第18页 |
| ·激光制备材料表面微/纳米结构研究概述 | 第18-31页 |
| ·连续激光辅助材料表面生长纳米结构 | 第19-20页 |
| ·纳/皮秒脉冲激光诱导材料表面亚波长周期波纹结构的研究 | 第20-23页 |
| ·飞秒激光诱导材料表面微/纳米结构研究进展 | 第23-31页 |
| ·飞秒激光诱导光栅结构 | 第24-26页 |
| ·飞秒激光诱导“钟乳石林”结构 | 第26-29页 |
| ·飞秒激光诱导表面纳米颗粒状结构 | 第29-31页 |
| ·飞秒激光诱导复合结构 | 第31页 |
| ·本课题的研究意义 | 第31-33页 |
| ·研究意义 | 第32-33页 |
| ·项目来源 | 第33页 |
| ·论文的主要研究内容和主要创新点 | 第33-38页 |
| ·研究内容 | 第33-35页 |
| ·主要创新点 | 第35-38页 |
| 第2章 飞秒激光诱导硅表面亚微米光栅结构 | 第38-60页 |
| ·飞秒激光技术简介 | 第38-45页 |
| ·飞秒激光的演化进程 | 第38-40页 |
| ·飞秒激光与物质相互作用 | 第40-45页 |
| ·飞秒激光与金属的相互作用 | 第41页 |
| ·飞秒激光与非金属的相互作用 | 第41-44页 |
| ·相变机制 | 第44-45页 |
| ·飞秒激光加工系统 | 第45-50页 |
| ·飞秒激光系统 | 第46-48页 |
| ·高精度六维电控移动平台 | 第48-49页 |
| ·显微镜系统（CCD 实时观测） | 第49页 |
| ·计算机控制系统 | 第49-50页 |
| ·飞秒激光硅表面上诱导大面积光栅结构 | 第50-59页 |
| ·烧蚀阈值的测定 | 第51-52页 |
| ·飞秒激光扫描速度优化 | 第52-53页 |
| ·扫描步长的确定 | 第53页 |
| ·大面积高质量的光栅结构制备 | 第53-55页 |
| ·光栅结构的应用 | 第55-56页 |
| ·激光偏振方向对光栅结构的调控 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第3章 飞秒激光诱导硅表面“十字型”周期结构研究 | 第60-74页 |
| ·“十字型”表面周期结构 | 第60-65页 |
| ·“十字型”表面周期结构形貌特征 | 第61-63页 |
| ·类似的“十字型”表面周期结构的比较 | 第63-65页 |
| ·“十字型”表面周期结构形成条件 | 第65-69页 |
| ·脉冲通量对“十字型”表面周期结构的调控 | 第65-66页 |
| ·脉冲个数对“十字型”表面周期结构的调控 | 第66-68页 |
| ·“十字型”表面周期结构形成条件 | 第68-69页 |
| ·飞秒激光偏振对“十字型”表面周期结构的调控 | 第69页 |
| ·“十字型”表面周期结构形成的潜在机理研究 | 第69-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第4章 飞秒激光诱导硅表面单脉冲烧蚀弹坑几何形貌调控研究 | 第74-94页 |
| ·飞秒激光单脉冲诱导硅表面的实验光路 | 第74-77页 |
| ·实验光路介绍 | 第74-75页 |
| ·单脉冲获得方式 | 第75-76页 |
| ·物镜聚焦点校准 | 第76-77页 |
| ·飞秒激光单脉冲烧蚀硅表面的弹坑几何形貌 | 第77-86页 |
| ·激光能量对烧蚀形貌的调控 | 第78-82页 |
| ·单脉冲烧蚀阈值的推算 | 第82-83页 |
| ·激光偏振方向对烧蚀形貌的调控 | 第83-84页 |
| ·激光光束质量的诊断 | 第84-86页 |
| ·潜在机理研究 | 第86-93页 |
| ·飞秒激光激发电子密度计算 | 第86-90页 |
| ·飞秒激光烧蚀机理 | 第90-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 第5章 脉冲时空整形调控瞬时电子状态的硅表面烧蚀实验研究 | 第94-114页 |
| ·飞秒激光脉冲序列生成 | 第94-100页 |
| ·飞秒激光脉冲整形器 | 第96-98页 |
| ·实验光路系统-脉冲整形器 | 第98页 |
| ·使用脉冲整形器创建子脉冲 | 第98-100页 |
| ·脉冲序列延时变化调控硅表面局部瞬时电子状态特性 | 第100-109页 |
| ·单次激发时双子脉冲间隔对烧蚀弹坑几何形貌的调控 | 第100-105页 |
| ·单次激发时子脉冲个数对烧蚀形貌的调控 | 第105-106页 |
| ·多次激发时子脉冲延时对烧蚀形貌的调控 | 第106-109页 |
| ·光束空间整形调控硅表面局域瞬时电子状态特性 | 第109-113页 |
| ·空间光束整形计算仿真 | 第109-111页 |
| ·空间整形的脉冲光束激发硅表面烧蚀形貌 | 第111-113页 |
| ·本章小结 | 第113-114页 |
| 第6章 总结与展望 | 第114-118页 |
| ·课题的主要工作总结 | 第114-115页 |
| ·课题的主要创新点 | 第115-117页 |
| ·建议与展望 | 第117-118页 |
| 参考文献 | 第118-132页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第132-134页 |
| 致谢 | 第134-135页 |
