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锌基合金薄膜的溅射沉积及真空热蒸发研究

摘要第1-7页
Abstract第7-11页
第1章 绪论第11-26页
   ·多孔材料简介第11-13页
     ·多孔材料概念第11页
     ·多孔材料分类第11-12页
     ·多孔材料特性及应用第12-13页
   ·多孔材料的制备第13-17页
     ·多孔陶瓷材料的制备第13-14页
     ·多孔金属材料的制备第14页
     ·模板法第14-16页
     ·脱合金法第16-17页
   ·磁控溅射第17-21页
     ·磁控溅射原理第17-19页
     ·磁控溅射特点第19-20页
     ·溅射技术的发展第20页
     ·射频磁控溅射第20-21页
   ·润湿行为在材料工程中的作用第21-22页
   ·润湿行为的研究方法第22-24页
     ·座滴法第22-23页
     ·落置液滴法第23-24页
     ·吊板法第24页
   ·本文选题意义及主要内容第24-26页
第2章 实验方法第26-28页
   ·实验用品第26页
   ·实验设备第26页
   ·实验过程第26-28页
第3章 锌基合金薄膜的溅射沉积第28-45页
   ·采用马赛克靶溅射沉积锌基薄膜第28-34页
     ·不同面积比马赛克靶材溅射沉积的 ZnSi 薄膜成分第28-29页
     ·不同面积比马赛克靶材溅射沉积的 ZnNi 薄膜成分第29-31页
     ·结果分析第31-34页
   ·基片温度对锌基薄膜表面形貌的影响第34-40页
     ·基片温度对ZnSi薄膜表面形貌的影响第34-36页
     ·基片温度对ZnNi薄膜表面形貌的影响第36页
     ·结果讨论第36-40页
   ·含锌量对锌基薄膜表面形貌的影响第40-44页
     ·含锌量对 ZnSi 薄膜表面形貌的影响第40-42页
     ·含锌量对 ZnNi 薄膜表面形貌的影响第42页
     ·结果讨论第42-44页
   ·本章小结第44-45页
第4章 锌基薄膜的真空热蒸发第45-51页
   ·真空热蒸发对不同成分薄膜的表面形貌的影响第45-49页
     ·真空热蒸发对 ZnSi 薄膜表面形貌的影响第45-46页
     ·真空热蒸发对 ZnNi 薄膜表面形貌的影响第46-47页
     ·结果讨论第47-49页
   ·真空热蒸发温度对 ZnNi 薄膜表面形貌的影响第49-50页
   ·本章小结第50-51页
第5章 薄膜表面形貌对润湿性的影响第51-60页
   ·蒸馏水在薄膜表面上的润湿行为第51-57页
     ·蒸馏水滴在 ZnSi 薄膜表面上的润湿行为第51-52页
     ·蒸馏水滴在 ZnNi 薄膜表面上的润湿行为第52-57页
   ·汞滴在薄膜表面上的润湿行为第57-58页
     ·汞滴在 ZnSi 薄膜表面上的润湿行为第57页
     ·汞滴在 ZnNi 薄膜表面上的润湿行为第57-58页
   ·本章小结第58-60页
结论第60-61页
参考文献第61-64页
致谢第64-65页
攻读硕士期间发表(含录用)的学术论文第65页

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