| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-22页 |
| ·课题背景及意义 | 第11-12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-20页 |
| ·金属氧化物气敏材料的研究现状 | 第12-17页 |
| ·碳纳米管气敏性的研究现状 | 第17-20页 |
| ·本论文主要研究的内容 | 第20-22页 |
| 2 气敏材料的基本理论及制备方法 | 第22-32页 |
| ·金属氧化物及其气敏机理 | 第22-24页 |
| ·几种金属氧化物气敏材料 | 第22页 |
| ·金属氧化物的气敏机理 | 第22-24页 |
| ·碳纳米管及其气敏机理 | 第24-28页 |
| ·碳纳米管的结构 | 第24-25页 |
| ·碳纳米管的纯化 | 第25-26页 |
| ·碳纳米管的气敏机理 | 第26-28页 |
| ·气敏材料的制备方法 | 第28-31页 |
| ·磁控溅射法 | 第28-30页 |
| ·溶胶凝胶法 | 第30-31页 |
| ·沉淀法 | 第31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 ZnO 薄膜的 RF 制备及气敏性测试 | 第32-41页 |
| ·ZnO 薄膜的 RF 制备 | 第32-33页 |
| ·ZnO 薄膜的制备方法 | 第32-33页 |
| ·ZnO 薄膜的测试设备 | 第33页 |
| ·制备参数对 ZnO 薄膜特性的影响 | 第33-38页 |
| ·沉积速率的测试 | 第33-34页 |
| ·衬底温度的研究 | 第34-35页 |
| ·退火温度的研究 | 第35-37页 |
| ·氧氩比对电阻率的影响 | 第37-38页 |
| ·ZnO 薄膜的气敏测试 | 第38-40页 |
| ·灵敏度 | 第38-39页 |
| ·响应-恢复特性 | 第39页 |
| ·稳定性 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 CNT/ZnO 复合材料的制备及气敏性研究 | 第41-49页 |
| ·碳纳米管的酸化处理 | 第41-43页 |
| ·CNT/ZnO 复合材料的气敏性研究 | 第43-47页 |
| ·CNT/ZnO 的气敏机理分析 | 第43-44页 |
| ·CNT/ZnO 复合材料的制备 | 第44-45页 |
| ·结果与分析 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 5 CNT 掺杂 WO_3、SnO_2复合材料的制备及气敏性研究 | 第49-61页 |
| ·CNT/WO_3复合材料的制备及气敏性研究 | 第49-53页 |
| ·CNT/WO_3的气敏机理分析 | 第49-50页 |
| ·CNT/WO_3复合材料的制备 | 第50-51页 |
| ·结果与分析 | 第51-53页 |
| ·CNT/SnO_2复合材料的制备及气敏性研究 | 第53-57页 |
| ·CNT/SnO_2复合材料的气敏机理分析 | 第53-54页 |
| ·CNT/SnO_2复合材料的制备 | 第54页 |
| ·结果与分析 | 第54-57页 |
| ·CNT/WO_3/SnO_2复合材料的气敏性研究 | 第57-59页 |
| ·CNT/WO_3/SnO_2复合材料的气敏机理分析 | 第57-58页 |
| ·CNT/WO_3/SnO_2复合材料的制备 | 第58页 |
| ·结果与分析 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-61页 |
| 6 总结 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及所取得的研究成果 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
