特殊晶体高精度金刚石线切割机关键技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| ·课题的研究目的及意义 | 第9-10页 |
| ·金刚石线切割技术概述 | 第10-12页 |
| ·线切割机的特点及分类 | 第10-11页 |
| ·金刚石线切割机的起源及应用 | 第11-12页 |
| ·国内外金刚石线切割技术现状 | 第12-18页 |
| ·国外发展现状 | 第12-16页 |
| ·国内发展现状 | 第16-17页 |
| ·金刚石线切割新技术 | 第17-18页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第18-19页 |
| 2 金刚石线切割机的研制 | 第19-32页 |
| ·总体技术要求 | 第19页 |
| ·金刚石线切割机方案设计 | 第19-21页 |
| ·金刚石线切割机总体设计 | 第21-22页 |
| ·关键零部件设计 | 第22-29页 |
| ·立柱与床身结构设计 | 第22-25页 |
| ·收放线系统设计 | 第25-26页 |
| ·走丝系统设计 | 第26-27页 |
| ·进给系统设计 | 第27页 |
| ·张紧力调节系统设计 | 第27-28页 |
| ·控制系统设计 | 第28-29页 |
| ·影响切割精度的因素分析 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 切割线的张紧力波动研究 | 第32-50页 |
| ·张紧力波动对切割加工的影响 | 第32-33页 |
| ·张紧力波动的产生原因 | 第32页 |
| ·张紧力波动对机床部件的影响 | 第32页 |
| ·张紧力波动对被加工晶体的影响 | 第32-33页 |
| ·张紧力波动的研究现状 | 第33页 |
| ·导向轮转动惯量对张紧力波动的影响 | 第33-42页 |
| ·走丝系统的总体结构 | 第33-34页 |
| ·转动惯量对切割线振动的影响 | 第34页 |
| ·转动惯量的分析模型 | 第34-38页 |
| ·运行求解 | 第38-42页 |
| ·切割线换向方法对张紧力波动的影响 | 第42-49页 |
| ·单线切割机的运丝系统 | 第42-43页 |
| ·动力学模型 | 第43-45页 |
| ·模型求解与分析 | 第45-48页 |
| ·仿真结果分析 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 4 金刚石线切割机的切割实验研究 | 第50-60页 |
| ·金刚石线的耐用性实验 | 第50-53页 |
| ·电镀金刚石线的耐用性实验 | 第50-52页 |
| ·树脂涂覆金刚石切割线的耐用性实验 | 第52-53页 |
| ·线轮的耐用性实验 | 第53-55页 |
| ·实验条件及实验方法 | 第53-54页 |
| ·实验结果 | 第54-55页 |
| ·线切割机的加工效果实验 | 第55-59页 |
| ·熔石英切割实验 | 第55-57页 |
| ·LBO 切割实验 | 第57页 |
| ·KDP 和 YCOB 切割实验 | 第57-58页 |
| ·加工效果分析 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 5 结论与展望 | 第60-62页 |
| ·结论 | 第60页 |
| ·展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 附录：硕士研究生学习阶段发表论文和取得的成果 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
