| 目录 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-11页 |
| ABSTRACT | 第11-15页 |
| 符号说明 | 第15-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-36页 |
| ·铁电材料(Ferroelectric Materials) | 第16-21页 |
| ·铁电材料的基本特性 | 第16-18页 |
| ·铁电材料的分类 | 第18-21页 |
| ·铁电薄膜(Ferroelectric Films) | 第21-29页 |
| ·铁电薄膜简介 | 第21-22页 |
| ·铁电薄膜的发展 | 第22页 |
| ·薄膜的制备方法 | 第22-24页 |
| ·铁电薄膜的应用 | 第24-29页 |
| ·Na_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3、K_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3和Bi_4Ti_3O_(12)材料概述 | 第29-34页 |
| ·本论文的研究目的及主要内容 | 第34-36页 |
| 第二章 (Na_(1-x)K_x)_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3与Bi_(4-x)A_xZi_3O_(12)铁电薄膜的制备及分析测试方法 | 第36-56页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·薄膜制备 | 第36-42页 |
| ·仪器设备 | 第36-37页 |
| ·原料 | 第37页 |
| ·前驱体溶液的配制 | 第37-38页 |
| ·衬底材料的选择及清洗 | 第38-39页 |
| ·薄膜的制备 | 第39-41页 |
| ·电极的制备 | 第41-42页 |
| ·分析测试技术 | 第42-56页 |
| ·示差扫描量热与热重分析 | 第42页 |
| ·红外(Infrared-IR)光谱 | 第42页 |
| ·X-射线衍射分析 | 第42-43页 |
| ·原子力显微镜研究表面形貌 | 第43-44页 |
| ·场发射扫描电子显微镜研究断面及表面形貌 | 第44页 |
| ·台阶仪测量薄膜厚度 | 第44页 |
| ·绝缘性(电流-电压) | 第44-48页 |
| ·电容-电压特性 | 第48-51页 |
| ·介电性(介电频谱、介电温谱) | 第51-52页 |
| ·电滞回线和极化的测量 | 第52-55页 |
| ·疲劳性测试 | 第55页 |
| ·光学透过图谱 | 第55-56页 |
| 第三章 (Na_(1-x)K_x)_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3铁电薄膜的结构、形貌及电学性质 | 第56-64页 |
| ·引言 | 第56-57页 |
| ·X-射线衍射与表面形貌 | 第57-59页 |
| ·电学性质 | 第59-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第四章 (Na_(0.8)K_(0.2))_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3薄膜在不同衬底上的性能研究 | 第64-84页 |
| ·引言 | 第64页 |
| ·前驱体溶液分析 | 第64-66页 |
| ·DSC／TG | 第64-65页 |
| ·红外光谱 | 第65-66页 |
| ·制备薄膜所用衬底 | 第66-67页 |
| ·薄膜厚度测量 | 第67-69页 |
| ·X-射线衍射与表面形貌 | 第69-71页 |
| ·Si衬底上(Na_(0.8)K_(0.2)_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3薄膜的电学性质 | 第71-78页 |
| ·绝缘性 | 第71-72页 |
| ·电滞回线 | 第72-73页 |
| ·C-V特性 | 第73-76页 |
| ·介电温谱 | 第76-77页 |
| ·介电频谱 | 第77-78页 |
| ·Pt衬底上(Na_(0.8)K_(0.2)_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3薄膜的电学性质 | 第78-81页 |
| ·绝缘性 | 第78-79页 |
| ·电滞回线与疲劳性能 | 第79-80页 |
| ·介电频谱 | 第80-81页 |
| ·石英玻璃衬底上(Na_(0.8)K_(0.2)_(0.5)Bi_(0.5)TiO_3薄膜的光学透过图谱 | 第81-82页 |
| ·本章小结 | 第82-84页 |
| 第五章 Bi_(4-x)A_xTi_3O_(12)／Si结构的性能研究 | 第84-104页 |
| ·引言 | 第84-85页 |
| ·Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)薄膜 | 第85-91页 |
| ·XRD与AFM | 第85-86页 |
| ·绝缘性 | 第86-87页 |
| ·C-V特性 | 第87-89页 |
| ·保持性 | 第89页 |
| ·介电性 | 第89-91页 |
| ·Bi_(3.54)Nd_(0.46)Ti_3O_(12)薄膜 | 第91-95页 |
| ·XRD与AFM | 第91-92页 |
| ·绝缘性 | 第92-93页 |
| ·C-V特性 | 第93-94页 |
| ·介电性 | 第94-95页 |
| ·Bi_(3.15)Sm_(0.85)Ti_3O_(12)薄膜 | 第95-99页 |
| ·XRD与AFM | 第95-97页 |
| ·绝缘性 | 第97页 |
| ·C-V特性 | 第97-98页 |
| ·介电性 | 第98-99页 |
| ·Bi_(3.15)Sm_(0.85)Ti_3O_(12)薄膜 | 第99-102页 |
| ·XRD与AFM | 第99-100页 |
| ·绝缘性 | 第100-101页 |
| ·C-V特性 | 第101-102页 |
| ·介电性 | 第102页 |
| ·本章小结 | 第102-104页 |
| 第六章 总结 | 第104-108页 |
| 主要结论 | 第104-106页 |
| 论文创新点 | 第106页 |
| 需要进一步研究的内容 | 第106-108页 |
| 参考文献 | 第108-129页 |
| 致谢 | 第129-130页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及相关科研成果 | 第130-134页 |
| 学位论文评阅及答辩情况表 | 第134页 |
