| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-47页 |
| ·铁电体及其基本性质 | 第11-14页 |
| ·铁电薄膜的发展概况及应用 | 第14-23页 |
| ·BiFeO_3的结构 | 第23-24页 |
| ·BiFeO_3铁电薄膜的研究进展 | 第24-36页 |
| ·BiFeO_3薄膜存在的问题 | 第36-47页 |
| ·BiFeO_3薄膜严重的漏电问题 | 第36-38页 |
| ·BiFeO_3薄膜的老化问题 | 第38-43页 |
| ·有助于 BiFeO_3薄膜漏电和老化问题解决的制备技术 | 第43-44页 |
| ·有助于 BiFeO_3薄膜漏电和老化问题解决的底电极材料 | 第44-47页 |
| 第二章 测试方法及工艺过程 | 第47-57页 |
| ·实验所需原料及设备 | 第47-48页 |
| ·铁电薄膜的制备 | 第48-51页 |
| ·前驱体溶液的配置 | 第48-50页 |
| ·衬底的选择与清洗 | 第50页 |
| ·铁电薄膜的制备 | 第50-51页 |
| ·电极的制备 | 第51页 |
| ·薄膜表征技术 | 第51-54页 |
| ·X-射线粉末衍射（XRD） | 第51-52页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第52页 |
| ·原子力显微镜（AFM） | 第52-54页 |
| ·铁电测试仪 | 第54-57页 |
| 第三章 Mn 掺杂对 BiFeO_3薄膜生长模式、结构和性能的影响 | 第57-71页 |
| ·研究工作意义和目的 | 第57-58页 |
| ·BiFe_(1-x)MnO_3薄膜制备 | 第58-59页 |
| ·Mn 掺杂对 BiFeO_3薄膜生长模式以及结构的影响 | 第59-63页 |
| ·Mn 掺杂对 BiFeO_3薄膜铁电性能的影响 | 第63-68页 |
| ·本章小结 | 第68-71页 |
| 第四章 缓冲层 Bi_2O_3对 BiFe_(0.95)Mn_(0.05_O_3铁电及压电性质的影响 | 第71-85页 |
| ·溶胶-凝胶方法制备 Bi_2O_3及 BiFe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜 | 第72-74页 |
| ·结果与讨论 | 第74-83页 |
| ·薄膜的晶体结构 | 第74页 |
| ·薄膜的表面形貌分析 | 第74-75页 |
| ·薄膜的铁电性质分析 | 第75-80页 |
| ·铁电薄膜的压电分析 | 第80-83页 |
| ·本章小结 | 第83-85页 |
| 第五章 Zr~(4+)对 BiFe_(0.95)Mn_(0.05)O_3薄膜的铁电去老化作用 | 第85-101页 |
| ·溶胶-凝胶方法制备 BFMZ_xO 薄膜 | 第86-87页 |
| ·结果与分析 | 第87-98页 |
| ·本章小结 | 第98-101页 |
| 第六章 结论和展望 | 第101-105页 |
| 参考文献 | 第105-109页 |
| 攻读博士期间发表的论文 | 第109-111页 |
| 致谢 | 第111页 |
