二维并联压电微动平台的尺寸优化
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-15页 |
| ·研究背景与意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-14页 |
| ·论文主要工作 | 第14-15页 |
| 2 微动平台的结构改进及尺寸优化 | 第15-31页 |
| ·已研制微动平台结构的不足 | 第15-16页 |
| ·微动平台的结构改进 | 第16-18页 |
| ·微动平台尺寸优化数学模型的建立 | 第18-26页 |
| ·设计变量的确定 | 第18页 |
| ·目标函数的建立 | 第18-22页 |
| ·约束条件的确定 | 第22-26页 |
| ·初始条件的确定 | 第26页 |
| ·微动平台尺寸优化数学模型的求解 | 第26-30页 |
| ·微动平台的多目标尺寸优化方法 | 第26-27页 |
| ·微动平台多目标尺寸优化的求解 | 第27-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 微动平台静动态特性的有限元分析 | 第31-41页 |
| ·有限元分析模型 | 第31页 |
| ·静力分析 | 第31-34页 |
| ·模态分析 | 第34-37页 |
| ·频率响应特性分析 | 第37-38页 |
| ·阶跃响应特性分析 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 微动平台的静动态特性测试 | 第41-54页 |
| ·位移特性测试 | 第41-45页 |
| ·实验系统构成 | 第41-43页 |
| ·位移特性测试 | 第43-44页 |
| ·位移耦合特性测试 | 第44-45页 |
| ·测试系统噪声的确定 | 第45-46页 |
| ·频率响应特性测试 | 第46-51页 |
| ·实验系统构成 | 第46-48页 |
| ·频率响应特性测试 | 第48-51页 |
| ·阶跃响应特性测试 | 第51-53页 |
| ·实验系统构成 | 第51-52页 |
| ·阶跃响应特性测试 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 结论与展望 | 第54-56页 |
| ·结论 | 第54-55页 |
| ·进一步研究工作展望 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-58页 |
| 在校期间研究成果 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
