| 致谢 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-25页 |
| ·研究背景 | 第11-12页 |
| ·非球面的基础知识 | 第12-14页 |
| ·非球面的定义 | 第12-13页 |
| ·非球面的孔径 | 第13-14页 |
| ·非球面的非球面度 | 第14页 |
| ·非球面的主要检测方法 | 第14-19页 |
| ·三坐标测量法 | 第14页 |
| ·剪切干涉法 | 第14-16页 |
| ·哈特曼法 | 第16页 |
| ·子孔径拼接法 | 第16-17页 |
| ·计算全息法 | 第17-18页 |
| ·各种非球面检测方法的比较 | 第18-19页 |
| ·研究意义 | 第19-22页 |
| ·论文主要研究内容 | 第22-25页 |
| 第2章 计算全息图的基本理论 | 第25-45页 |
| ·计算全息图的定义 | 第25-28页 |
| ·光学全息图 | 第25-27页 |
| ·计算全息图 | 第27-28页 |
| ·计算全息图的分类 | 第28-30页 |
| ·二元全息图的制作 | 第30-31页 |
| ·计算全息图的设计考虑 | 第31-41页 |
| ·利用计算全息图检测非球面的各种光路 | 第41-43页 |
| ·泰曼—格林型非球面检测光路 | 第41-42页 |
| ·菲索型非球面检测光路 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第3章 非球面检测系统 | 第45-71页 |
| ·检测原理 | 第45-46页 |
| ·计算全息的设计 | 第46-68页 |
| ·计算全息的设计流程 | 第47-48页 |
| ·主全息的设计 | 第48-58页 |
| ·设计辅助全息的必要性 | 第58-62页 |
| ·对准全息的设计 | 第62-65页 |
| ·基准全息的设计 | 第65-68页 |
| ·计算全息设计结果 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第4章 非球面检测系统误差分析 | 第71-99页 |
| ·计算全息制作误差 | 第71-78页 |
| ·基底面形误差 | 第71-72页 |
| ·基片材料不均匀性误差 | 第72页 |
| ·基片厚度误差 | 第72-73页 |
| ·基片材料折射率误差 | 第73页 |
| ·条纹位置畸变误差 | 第73-74页 |
| ·占空比误差 | 第74-75页 |
| ·刻蚀深度不均匀性误差 | 第75页 |
| ·振幅误差 | 第75-76页 |
| ·表面膜厚误差 | 第76页 |
| ·编码误差 | 第76-77页 |
| ·计算全息制作误差总结 | 第77-78页 |
| ·计算全息制作误差的检测方法 | 第78-93页 |
| ·基底误差的检测方法 | 第78-85页 |
| ·条纹位置畸变误差的检测方法 | 第85-93页 |
| ·刻蚀深度不均匀性误差的检测方法 | 第93页 |
| ·振幅误差的检测方法 | 第93页 |
| ·待测非球面曲率半径误差 | 第93-95页 |
| ·干涉仪误差 | 第95-96页 |
| ·空间滤波器误差 | 第96-97页 |
| ·本章小结 | 第97-99页 |
| 第5章 非球面检测实验 | 第99-107页 |
| ·曲率半径为 144mm 和 93.86mm 非球面的检测实验 | 第99-101页 |
| ·计算全息基底误差的标定实验 | 第101-104页 |
| ·消除鬼像干扰的实验 | 第104-105页 |
| ·本章小结 | 第105-107页 |
| 第6章 基于 Twin-CGH 的非球面绝对检测技术 | 第107-119页 |
| ·基于 Twin-CGH 的非球面绝对检测原理 | 第107页 |
| ·双重位相计算全息图的设计 | 第107-115页 |
| ·双重位相计算全息图的衍射特性 | 第107-110页 |
| ·双重位相计算全息图的位相优化方法 | 第110-115页 |
| ·基于 Twin-CGH 的非球面绝对检测过程 | 第115-117页 |
| ·本章小结 | 第117-119页 |
| 第7章 总结与展望 | 第119-123页 |
| ·主要工作 | 第119-120页 |
| ·论文创新点 | 第120-121页 |
| ·论文工作不足 | 第121-123页 |
| 参考文献 | 第123-129页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第129-131页 |