非晶硅薄膜的制备及连续激光晶化

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-10页
第一章 绪论	第10-28页
·引言	第10-11页
·太阳能的发展历史	第11-12页
·硅基太阳能电池的原理及种类	第12-16页
·硅基太阳能电池的工作原理	第12-13页
·硅基太阳能电池的种类	第13-16页
·非晶硅薄膜的晶化	第16-20页
·非晶硅薄膜的晶化意义	第16页
·多晶硅薄膜的制取方法	第16-20页
·激光晶化法制备多晶硅薄膜的机理及研究背景	第20-23页
·激光晶化法的机理	第20-22页
·激光晶化法制备多晶硅薄膜的研究现状	第22-23页
·本文主要研究内容	第23-24页
参考文献	第24-28页
第二章 非晶硅薄膜的制备及性能表征	第28-42页
·磁控溅射法简介	第28-29页
·磁控溅射基本原理	第28页
·磁控溅射的优缺点及应用	第28-29页
·硅薄膜的性能表征	第29-34页
·X 射线衍射测试技术	第29-30页
·拉曼光谱测试技术	第30-32页
·扫描电子显微镜	第32-33页
·扫描探针显微镜	第33-34页
·紫外可见分光光度计	第34页
·非晶硅薄膜的制备	第34-39页
·靶材及衬底的清洗	第34-35页
·磁控溅射实验过程	第35页
·溅射功率及氩气分压对沉积速率的影响	第35-39页
·本章小结	第39-40页
参考文献	第40-42页
第三章 连续激光晶化非晶硅薄膜的研究	第42-64页
·引言	第42页
·实验过程及方法	第42-44页
·实验结果及分析	第44-59页
·激光功率密度对晶化效果的影响	第44-49页
·激光波长对晶化效果的影响	第49-54页
·衬底对晶化效果的影响	第54-56页
·激光照射时间对晶化效果的影响	第56-58页
·改变扫描方式后的晶化效果	第58-59页
·本章小结	第59-61页
参考文献	第61-64页
第四章 工作结论与展望	第64-66页
致谢	第66-68页
硕士期间完成的论文	第68-69页