液相等离子体电沉积类金刚石薄膜
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-17页 |
| ·DLC 薄膜的性能和应用 | 第8-9页 |
| ·机械性能和应用 | 第8页 |
| ·光学性能和应用 | 第8页 |
| ·生物相溶性能及应用 | 第8-9页 |
| ·气相法制备 DLC 薄膜的研究进展 | 第9-12页 |
| ·物理气相电沉积 | 第9-11页 |
| ·化学气相沉积 | 第11-12页 |
| ·液相等离子电沉积 DLC 薄膜的研究进展 | 第12-14页 |
| ·等离子体放电理论 | 第14-16页 |
| ·本课题研究的内容 | 第16-17页 |
| 第二章 液相等离子体电沉积 DLC 薄膜 | 第17-23页 |
| ·实验装置 | 第17-18页 |
| ·分析仪器 | 第18-19页 |
| ·碳源选择 | 第19-20页 |
| ·介电常数 | 第19页 |
| ·碳源粘度 | 第19-20页 |
| ·碳源的分子结构 | 第20页 |
| ·液相等离子体电沉积 DLC 薄膜机理 | 第20-22页 |
| ·技术路线 | 第22页 |
| ·小结 | 第22-23页 |
| 第三章 有机体系等离子体电沉积 DLC 薄膜 | 第23-36页 |
| 引言 | 第23页 |
| ·实验 | 第23-24页 |
| ·实验现象 | 第24页 |
| ·实验结果与讨论 | 第24-35页 |
| ·电流密度对 DLC 薄膜的影响 | 第24-27页 |
| ·电极距离对 DLC 薄膜的影响 | 第27-31页 |
| ·基体表面温度对 DLC 薄膜的影响 | 第31-33页 |
| ·DLC 薄膜微观结构的表征 | 第33-35页 |
| ·小结 | 第35-36页 |
| 第四章 乙醇水溶液体系等离子体电沉 DLC 薄膜 | 第36-46页 |
| 引言 | 第36页 |
| ·实验 | 第36页 |
| ·实验结果与讨论 | 第36-45页 |
| ·电流密度对 DLC 薄膜的影响 | 第36-40页 |
| ·电极距离对 DLC 薄膜的影响 | 第40-44页 |
| ·基体表面温度对 DLC 薄膜的影响 | 第44-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第五章 液相等离子体电沉积 TiC 薄膜 | 第46-57页 |
| 引言 | 第46页 |
| ·实验 | 第46-47页 |
| ·实验结果与讨论 | 第47-55页 |
| ·电流密度对 TiC 薄膜的影响 | 第47-51页 |
| ·电极间距对 TiC 薄膜的影响 | 第51-55页 |
| ·小结 | 第55-57页 |
| 第六章 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 个人简介 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
