| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·铁电随机存储器及其研究概况 | 第9-12页 |
| ·集成铁电电容材料的选取 | 第12-15页 |
| ·集成铁电电容薄膜的制备与表征 | 第15-16页 |
| ·本论文的工作 | 第16-18页 |
| 2 射频磁控溅射薄膜生长机理的热力学分析 | 第18-29页 |
| ·射频磁控溅射沉积薄膜原理 | 第18-21页 |
| ·薄膜生长过程热力学分析 | 第21-27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 3 La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3 靶材的制备及性能分析 | 第29-36页 |
| ·LSCO 材料的结构和性质 | 第29-30页 |
| ·溶胶凝胶燃烧法制备 La_(0.5)Sr_(0.5)CoO_3 靶材 | 第30页 |
| ·LSCO 靶材的微结构和电性能分析 | 第30-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 4 LSCO | 第36-49页 |
| ·电极材料的选取与制备 | 第36-37页 |
| ·LSCO/PZT/LSCO 夹心层铁电薄膜的制备 | 第37页 |
| ·LSCO 缓冲层溅射温度对PZT 薄膜性能的影响 | 第37-43页 |
| ·LSCO 缓冲层溅射功率对PZT 薄膜性能的影响 | 第43-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 5 全文总结 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-58页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第58页 |
