摘要 | 第1-6页 |
ABSTRACT | 第6-11页 |
第一章 绪论 | 第11-25页 |
·引言 | 第11-12页 |
·压力连接模具 | 第12-16页 |
·压力连接技术在汽车制造方面的应用 | 第12-13页 |
·凸凹模简介 | 第13-15页 |
·研究现状 | 第15-16页 |
·气相沉积技术 | 第16-18页 |
·气相沉积层的形成与结合 | 第16-17页 |
·物理气相沉积(PVD) | 第17页 |
·化学气相沉积(CVD) | 第17-18页 |
·减摩耐磨镀层 | 第18-21页 |
·固体自润滑材料 | 第18-19页 |
·减摩耐磨薄膜 | 第19-21页 |
·研究课题 | 第21-24页 |
·研究目的和意义 | 第21-22页 |
·研究内容、拟解决的关键问题及技术路线 | 第22-24页 |
·本章小结 | 第24-25页 |
第二章 实验设备及方法 | 第25-40页 |
·实验材料 | 第25-26页 |
·镀膜设备及工艺 | 第26-31页 |
·UDP-650/4 型闭合场非平衡磁控溅射离子镀系统 | 第26-27页 |
·GLC 薄膜制备工艺 | 第27-29页 |
·Tandem 350 型化学气相沉积系统 | 第29-30页 |
·TiCN/TiC/TiCN/TiN 多层结构薄膜制备工艺 | 第30-31页 |
·检测设备及方法 | 第31-38页 |
·膜基结合强度的评定 | 第31-32页 |
·显微硬度的测定 | 第32-33页 |
·镀层厚度的计算 | 第33-34页 |
·镀层形貌、微观结构及成分的检测 | 第34-35页 |
·镀层摩擦磨损性能的测试 | 第35-38页 |
·本章小结 | 第38-40页 |
第三章 GLC 薄膜的成分、结构和性能研究 | 第40-62页 |
·非平衡磁控溅射离子镀技术沉积 GLC 薄膜的研究现状 | 第40-43页 |
·实验结果及分析 | 第43-49页 |
·膜基结合强度 | 第44-45页 |
·显微硬度 | 第45页 |
·薄膜厚度 | 第45-46页 |
·薄膜拉曼光谱 | 第46-47页 |
·薄膜表面、截面微观形貌和成分 | 第47-49页 |
·薄膜 XRD 相结构 | 第49页 |
·薄膜摩擦磨损实验结果及分析 | 第49-61页 |
·薄膜在不同载荷下的摩擦磨损及承载性能 | 第50-55页 |
·薄膜在高温下的摩擦磨损及承载性能 | 第55-58页 |
·薄膜在不同介质环境中的摩擦磨损及承载性能 | 第58-61页 |
·本章小结 | 第61-62页 |
第四章 TiCN/TiC/TiCN/TiN 多层结构薄膜的成分、结构和性能研究 | 第62-79页 |
·TiCN、TiC 和 TiN 镀层的研究现状 | 第62-65页 |
·实验结果及分析 | 第65-69页 |
·膜基结合强度 | 第65页 |
·显微硬度 | 第65-66页 |
·薄膜厚度 | 第66页 |
·薄膜表面、截面微观形貌和成分 | 第66-68页 |
·薄膜 XRD 相结构 | 第68-69页 |
·薄膜摩擦磨损实验结果及分析 | 第69-77页 |
·薄膜在不同载荷条件下的摩擦磨损及承载性能 | 第69-73页 |
·薄膜在高温条件下的摩擦磨损及承载性能 | 第73-75页 |
·薄膜在不同介质条件下的摩擦磨损及承载性能 | 第75-77页 |
·本章小结 | 第77-79页 |
第五章 GLC 与 TiCN/TiC/TiCN/TiN 薄膜的适用性探讨 | 第79-83页 |
·GLC 薄膜与 TiCN/TiC/TiCN/TiN 多层结构薄膜的性能对比 | 第79-82页 |
·力学性能 | 第79页 |
·摩擦系数 | 第79-80页 |
·比磨损率 | 第80-81页 |
·承载性能 | 第81-82页 |
·本章小结 | 第82-83页 |
结论与展望 | 第83-86页 |
参考文献 | 第86-92页 |
攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第92-93页 |
致谢 | 第93-94页 |
附件 | 第94页 |