| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 文献综述 | 第10-29页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·太阳能级多晶硅的分析检测方法 | 第11-22页 |
| ·电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS) | 第11-13页 |
| ·二次离子质谱法 | 第13-16页 |
| ·激光电离质谱法(LIMS) | 第16-17页 |
| ·辉光放电质谱(GDMS)法 | 第17-22页 |
| ·太阳能级多晶硅的标准 | 第22-28页 |
| ·国外太阳能级多晶硅的规格 | 第23-26页 |
| ·国内太阳能级多晶硅的发展及标准制定 | 第26-28页 |
| ·文献小结 | 第28-29页 |
| 2 太阳能级多晶硅标准样品的研制 | 第29-69页 |
| ·成分设计 | 第29页 |
| ·选料 | 第29-31页 |
| ·标准样品的制备 | 第31-34页 |
| ·辉光放电质谱测定太阳能级多晶硅的方法研究及应用于标准样品的均匀性检验 | 第34-63页 |
| ·实验仪器及试剂 | 第34页 |
| ·制样过程 | 第34-35页 |
| ·样品的预处理 | 第35页 |
| ·工作参数的选择 | 第35-47页 |
| ·各元素同位素、干扰情况及GDMS分辨率的选择 | 第47-50页 |
| ·样品的测试过程 | 第50-51页 |
| ·实验结果 | 第51-52页 |
| ·GDMS法对太阳能级多晶硅样品均匀性初检的实验设计 | 第52-53页 |
| ·均匀性检验的实验结果 | 第53-57页 |
| ·均匀性复检的实验结果 | 第57-63页 |
| ·定值 | 第63页 |
| ·电感耦合等离子体质谱法对太阳能级多晶硅中杂质的测定 | 第63-69页 |
| ·主要仪器和试剂 | 第63-64页 |
| ·实验方法 | 第64-65页 |
| ·工作参数的选择 | 第65-66页 |
| ·实验结果及讨论 | 第66-68页 |
| ·实验小结 | 第68-69页 |
| 结论 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-78页 |
| 攻读硕士学位期间取得的学术成果 | 第78-79页 |
| 致谢 | 第79页 |
