| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-14页 |
| ·引言 | 第7-9页 |
| ·紫外探测器的分类 | 第9-11页 |
| ·国内外研究进展 | 第11-13页 |
| ·本论文主要内容 | 第13-14页 |
| 第2章 Zr_xTi_(1-x)O_2纳米材料的性质 | 第14-21页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·TiO2的基本性质和结构 | 第14-17页 |
| ·ZrO2的基本性质和结构 | 第17-18页 |
| ·Zr_xTi_(1-x)O_2纳米线的制备方法 | 第18-21页 |
| 第3章 Zr_xTi_(1-x)O_2纳米线阵列的制备及表征 | 第21-33页 |
| ·Zr_xTi_(1-x)O_2纳米线阵列的制备 | 第21-24页 |
| ·实验试剂及仪器 | 第21-22页 |
| ·实验过程 | 第22-24页 |
| ·Zr_xTi_(1-x)O_2纳米线阵列的表征 | 第24-33页 |
| ·X 射线衍射分析（XRD） | 第24-26页 |
| ·紫外可见吸收光谱（UV-Vis） | 第26-28页 |
| ·扫描电子显微镜（SEM） | 第28-30页 |
| ·X 射线光电子能谱(XPS) | 第30-33页 |
| 第4章 Au/Zr_xTi_(1-x)O_2/Au 紫外探测器的制作与测试 | 第33-45页 |
| ·金半金肖特基结紫外探测器的工作原理及主要参数 | 第33-35页 |
| ·Au/Zr_xTi_(1-x)O_2/Au 肖特基结紫外探测器的制作 | 第35-38页 |
| ·实验仪器与试剂 | 第35页 |
| ·光刻工艺 | 第35-36页 |
| ·磁控溅射技术 | 第36页 |
| ·实验过程 | 第36-38页 |
| ·Au/Zr_xTi_(1-x)O_2/Au 肖特基结紫外探测器的测试 | 第38-45页 |
| ·I-V 特性曲线 | 第38-42页 |
| ·光响应度和量子效率 | 第42-43页 |
| ·响应时间特性 | 第43-45页 |
| 第5章 总结与展望 | 第45-47页 |
| 参考文献 | 第47-51页 |
| 致谢 | 第51页 |
