激光光学元件小份额取样率测试系统设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·论文的背景及目的 | 第9-10页 |
| ·国内外发展状况 | 第10-15页 |
| ·一般元件的透过率测量装置 | 第10-13页 |
| ·用于高能系统的元件透过率检测方案 | 第13-15页 |
| ·论文主要工作 | 第15-16页 |
| 第二章 方案设计 | 第16-32页 |
| ·理论基础 | 第16-19页 |
| ·光在介质分界面上的反射与透射 | 第16-18页 |
| ·介质吸收造成的光能损失 | 第18页 |
| ·折射棱镜的偏向角 | 第18-19页 |
| ·小份额取样测试系统的设计方案 | 第19-31页 |
| ·系统中光学元件的设计 | 第21-23页 |
| ·系统中反射镜 2 的摆放角度与积分球开口位置 | 第23-26页 |
| ·各元件位置计算 | 第26-31页 |
| ·方案的创新点 | 第31页 |
| 小结 | 第31-32页 |
| 第三章 分析及仿真 | 第32-39页 |
| ·能量模拟与计算 | 第32-35页 |
| ·进入积分球的光通量 | 第32-34页 |
| ·探测器接受的光通量 | 第34-35页 |
| ·系统杂光分析 | 第35-37页 |
| ·偏振分析 | 第37-38页 |
| 小结 | 第38-39页 |
| 第四章 误差分配 | 第39-48页 |
| ·误差分配方法 | 第39-40页 |
| ·小份额取样系统中误差分配 | 第40-47页 |
| ·误差一级分配 | 第41-46页 |
| ·误差二级分配 | 第46-47页 |
| 小结 | 第47-48页 |
| 第五章 实验 | 第48-59页 |
| ·平台搭建 | 第48-51页 |
| ·测量对象及结果 | 第51-55页 |
| ·光源稳定性测试 | 第51-52页 |
| ·待测件及实验环境 | 第52-53页 |
| ·系统重复精度测量 | 第53-54页 |
| ·待测件镀膜均匀性测量 | 第54-55页 |
| ·小份额取样系统中误差合成 | 第55-58页 |
| ·实验中遇到的问题 | 第58页 |
| 小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-65页 |
| 发表文章 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |
