| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-29页 |
| ·引言 | 第14-15页 |
| ·ZnO 的基本性质 | 第15-21页 |
| ·晶体结构 | 第16-17页 |
| ·电学特性 | 第17-18页 |
| ·光学特性 | 第18-19页 |
| ·腐蚀特性 | 第19-21页 |
| ·其它特性 | 第21页 |
| ·ZnO 薄膜的应用 | 第21-24页 |
| ·太阳能电池 | 第21-22页 |
| ·紫外探测器 | 第22页 |
| ·发光器件 | 第22-23页 |
| ·薄膜晶体管 | 第23-24页 |
| ·其它应用 | 第24页 |
| ·ZnO 薄膜的制备方法 | 第24-25页 |
| ·磁控溅射法 | 第24页 |
| ·金属有机物化学气相沉积法 | 第24-25页 |
| ·脉冲激光沉积法 | 第25页 |
| ·分子束外延法 | 第25页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第25页 |
| ·ZnO 薄膜的研究现状 | 第25-27页 |
| ·n 型 ZnO 薄膜的研究现状 | 第26页 |
| ·p 型 ZnO 薄膜的研究现状 | 第26-27页 |
| ·ZnO 薄膜 p-n 结的研究现状 | 第27页 |
| ·本文研究思路和内容 | 第27-29页 |
| 第二章 ZnO 薄膜材料和异质结的制备及表征方法 | 第29-36页 |
| ·实验原材料 | 第29页 |
| ·薄膜的制备 | 第29-33页 |
| ·磁控溅射原理 | 第29-30页 |
| ·磁控溅射设备 | 第30-32页 |
| ·衬底的清洗 | 第32页 |
| ·溅射制备薄膜过程 | 第32-33页 |
| ·AZO/p-Si 异质结的制备 | 第33-34页 |
| ·上下电极的制备工艺 | 第33-34页 |
| ·AZO 薄膜的制备 | 第34页 |
| ·薄膜材料和异质结的表征技术 | 第34-36页 |
| 第三章 Sn 掺杂 ZnO 薄膜的制备及其性能研究 | 第36-50页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·实验参数 | 第36-37页 |
| ·Sn 溅射功率对 ZnO 薄膜性能的影响 | 第37-43页 |
| ·结晶质量分析 | 第37-38页 |
| ·电学特性分析 | 第38-39页 |
| ·光学特性分析 | 第39-41页 |
| ·腐蚀特性分析 | 第41-43页 |
| ·衬底温度对 Sn 掺杂 ZnO 薄膜性能的影响 | 第43-46页 |
| ·结晶质量分析 | 第43-44页 |
| ·电学特性分析 | 第44-45页 |
| ·光学特性分析 | 第45-46页 |
| ·生长时间对 Sn 掺杂 ZnO 薄膜性能的影响 | 第46-49页 |
| ·结晶质量分析 | 第46页 |
| ·电学特性分析 | 第46-47页 |
| ·光学特性分析 | 第47-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 Al 与 Sn 掺杂 ZnO 薄膜的制备及其性能研究 | 第50-63页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·实验参数 | 第50-51页 |
| ·Sn 溅射功率对 Al 与 Sn 共掺杂 ZnO 薄膜性能的影响 | 第51-56页 |
| ·结晶质量分析 | 第51-52页 |
| ·电学特性分析 | 第52-53页 |
| ·光学特性分析 | 第53-54页 |
| ·腐蚀特性分析 | 第54-56页 |
| ·衬底温度对 Al 与 Sn 共掺杂 ZnO 薄膜性能的影响 | 第56-59页 |
| ·结晶质量分析 | 第56-57页 |
| ·电学特性分析 | 第57-58页 |
| ·光学特性分析 | 第58-59页 |
| ·生长时间对 Al 与 Sn 共掺杂 ZnO 薄膜性能的影响 | 第59-61页 |
| ·结晶质量分析 | 第59页 |
| ·电学特性分析 | 第59-60页 |
| ·光学特性分析 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第五章 AZO/p-Si 异质结的制备及其性能研究 | 第63-75页 |
| ·引言 | 第63页 |
| ·实验参数 | 第63-64页 |
| ·AZO/p-Si 异质结性能研究 | 第64-69页 |
| ·AZO 薄膜的性能 | 第64-65页 |
| ·AZO/p-Si 异质结的 I-V 特性 | 第65-69页 |
| ·退火对 AZO/p-Si 异质结的影响 | 第69-74页 |
| ·退火对 AZO 薄膜性能的影响 | 第69-72页 |
| ·退火对 AZO/p-Si 异质结 I-V 特性的影响 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 结论与展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第85页 |
