| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 图表清单 | 第9-12页 |
| 注释表 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·化学机械抛光（CMP）技术 | 第14-16页 |
| ·固结磨料研磨抛光技术 | 第16-19页 |
| ·固结磨料研磨抛光技术概述 | 第16-17页 |
| ·固结磨料研磨抛光技术的研究现状 | 第17-19页 |
| ·现有固结磨料研磨抛光垫研究存在的问题 | 第19页 |
| ·本文研究的主要工作 | 第19-21页 |
| 第二章 热固型亲水性固结磨料研磨抛光垫的制备 | 第21-33页 |
| ·热固型亲水性固结磨料研磨抛光垫的固化机理 | 第21-23页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·热固型 FAP 的固化机理 | 第21-23页 |
| ·工艺参数对固结磨料研磨抛光垫性能的影响 | 第23-27页 |
| ·搅拌浆形状及搅拌容器结构的选择 | 第24-25页 |
| ·搅拌工艺参数对固结磨料研磨抛光垫均匀性的影响 | 第25页 |
| ·制备工艺参数对固结磨料研磨抛光垫物理性能的影响 | 第25-27页 |
| ·热固型亲水性固结磨料研磨抛光垫的优化设计与制备 | 第27-32页 |
| ·研磨抛光垫表面结构设计 | 第27-29页 |
| ·注塑模具的设计及工艺 | 第29-30页 |
| ·研磨抛光垫的制备 | 第30-32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| 第三章 热固型固结磨料研磨抛光垫的评价 | 第33-39页 |
| ·目前固结磨料研磨抛光垫的评价指标 | 第33页 |
| ·热固型固结磨料研磨抛光垫评价指标的选取 | 第33-37页 |
| ·孔隙率及其评价 | 第34页 |
| ·溶胀率 | 第34-35页 |
| ·摆式硬度 | 第35页 |
| ·磨粒保持率 | 第35-36页 |
| ·砂浆磨损率 | 第36-37页 |
| ·FAP 的理化性能对加工效率的影响 | 第37-38页 |
| ·FAP 配方的选取及研磨参数的设置 | 第37-38页 |
| ·FAP 基体性能与 MRR 的关系 | 第38页 |
| ·小结 | 第38-39页 |
| 第四章 FAP 孔隙率及磨粒保持率的图像识别与处理 | 第39-55页 |
| ·图像处理系统的总体设计 | 第39-40页 |
| ·光源及照明装置 | 第40-46页 |
| ·光源选择 | 第40-42页 |
| ·光照形式及光照环境的选择 | 第42-46页 |
| ·图像采集装置 | 第46-47页 |
| ·系统参数优化 | 第47-49页 |
| ·图像识别与处理软件程序的实现 | 第49-54页 |
| ·图像识别与处理 | 第50-52页 |
| ·固结磨料研磨抛光垫孔隙率的识别与处理 | 第52-53页 |
| ·固结磨料研磨抛光垫磨粒保持率的识别与处理 | 第53-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 第五章 基于水晶加工的热固型固结磨料研磨抛光垫的研究 | 第55-67页 |
| ·化学机械抛光在水晶加工中的应用 | 第55-56页 |
| ·存在的问题 | 第55-56页 |
| ·解决方案选取 | 第56页 |
| ·氧化铈及金刚石双磨料固结磨料抛光垫 | 第56-63页 |
| ·含金刚石的树脂铜盘性能评价 | 第57-60页 |
| ·双磨料固结磨料抛光垫的加工性能评价 | 第60-63页 |
| ·双磨料 FAP 在水晶加工中的实际应用 | 第63-65页 |
| ·方案设计 | 第63-64页 |
| ·双磨料 FAP 抛光水晶效果 | 第64-65页 |
| ·小结 | 第65-67页 |
| 第六章 总结与展望 | 第67-69页 |
| ·总结 | 第67-68页 |
| ·全文总结 | 第67页 |
| ·本文创新之处 | 第67-68页 |
| ·展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 在校期间的研究成果及发表的学术论文 | 第74页 |
| 1. 学术论文 | 第74页 |
| 2. 专利 | 第74页 |