| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-13页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·论文的主要工作 | 第10-13页 |
| ·研究意义 | 第10-11页 |
| ·研究内容 | 第11-12页 |
| ·技术路线 | 第12-13页 |
| 第二章 氧化钒微测辐射热计的结构及性能特征 | 第13-21页 |
| ·氧化钒微测辐射热计的工作原理 | 第13-15页 |
| ·氧化钒微测辐射热计的基本性能 | 第15-17页 |
| ·光学性能 | 第16页 |
| ·热学性能 | 第16页 |
| ·力学性能 | 第16-17页 |
| ·微测辐射热计的结构特征 | 第17-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 第三章 微测辐射热计的光学性能研究 | 第21-29页 |
| ·多层光学膜系导纳矩阵法介绍 | 第21-25页 |
| ·氧化钒微测辐射热计的红外吸收模型和光学参数设定 | 第25-26页 |
| ·红外吸收模型 | 第25页 |
| ·光学薄膜光学参数的设定 | 第25-26页 |
| ·氧化钒微测辐射热计的红外吸收率仿真与分析 | 第26-28页 |
| ·单层微桥结构红外吸收率的仿真与分析 | 第26-27页 |
| ·双层微桥结构红外吸收率的仿真与分析 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第四章 微测辐射热计的热学和力学性能研究 | 第29-39页 |
| ·分析方法及仿真模型 | 第29-30页 |
| ·有限元分析方法及 IntelliSuite 软件 | 第29-30页 |
| ·热机电模型结构参数 | 第30页 |
| ·微桥结构的热学仿真 | 第30-33页 |
| ·热学模型分析 | 第30-31页 |
| ·热学性能仿真 | 第31-33页 |
| ·微桥结构的力学仿真 | 第33-34页 |
| ·力学模型分析 | 第33页 |
| ·力学性能仿真 | 第33-34页 |
| ·微桥结构的性能综合比较 | 第34-35页 |
| ·双层 U 型结构优化研究 | 第35-38页 |
| ·薄膜材料对探测器性能影响 | 第35-37页 |
| ·微桥结构对探测器性能影响 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第五章 双层 U 型微测辐射热计的结构优化 | 第39-53页 |
| ·各层薄膜厚度对探测器光学性能影响 | 第39-42页 |
| ·各层薄膜厚度对探测器力学、热学性能影响 | 第42-48页 |
| ·双层 U 型结构综合性能优化 | 第48-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第六章 新型双层微桥结构设计 | 第53-64页 |
| ·引言 | 第53-54页 |
| ·单支撑孔几何参数对器件热均匀性影响 | 第54-55页 |
| ·双层 U 型结构热均匀性优化设计及仿真 | 第55-63页 |
| ·热敏感层均匀性改良思路 | 第55-57页 |
| ·双支撑孔结构热均匀性优化仿真结果分析 | 第57-61页 |
| ·四支撑孔结构热均匀性优化仿真结果分析 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第七章 结论与展望 | 第64-66页 |
| ·工作总结 | 第64-65页 |
| ·展望 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 附录 | 第71-72页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第72-73页 |