接口ASIC芯片对闭环加速度计稳定性的影响分析

摘要	第1-5页
Abstract	第5-7页
第1章 绪论	第7-16页
·国内外研究状况	第7-14页
·国外发展状况	第9-13页
·国内发展状况	第13-14页
·研究目的和意义	第14-15页
·研究内容	第15-16页
第2章 闭环微加速度计工作原理	第16-26页
·微结构工作原理	第16-18页
·加速度计电学模型的建立	第18-19页
·差动电容检测原理	第19-21页
·闭环加速度计	第21-25页
·静电力反馈工作原理	第21-22页
·闭环加速度计工作原理	第22-25页
·本章小结	第25-26页
第3章 非理想模拟单元的稳定性分析	第26-37页
·力矩电压稳定性分析	第26-28页
·放大器失调对系统稳定性影响	第28-34页
·放大器失调电压对稳定性影响	第28-30页
·放大器转换速率对系统稳定性的影响	第30-32页
·放大器带宽对系统稳定性的影响	第32-34页
·模拟开关尺寸选取等因素带来的系统失调	第34-36页
·本章小结	第36-37页
第4章 系统稳定性分析	第37-47页
·结构阻尼变化对系统稳定性影响	第37-39页
·时序电路中环形振荡器稳定性分析	第39-41页
·系统谐波失真分析	第41-45页
·加速度传感器开环模式谐波失真分析	第41-42页
·电容式振动传感器静电力闭环谐波失真分析	第42-45页
·本章小结	第45-47页
结论	第47-48页
参考文献	第48-52页
攻读学位期间发表的学术论文	第52-54页
致谢	第54页