| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| CONTENTS | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-22页 |
| ·研究背景及意义 | 第13-14页 |
| ·国内外相关研究现状 | 第14-21页 |
| ·天然金刚石特性 | 第14-16页 |
| ·超精密加工技术的研究现状 | 第16-17页 |
| ·金刚石刀具加工工艺方法研究现状 | 第17-18页 |
| ·单晶金刚石机械研磨加工工艺研究现状 | 第18-19页 |
| ·金刚石研磨材料去除机理的研究现状 | 第19-20页 |
| ·振动与金刚石超精密研磨加工研究现状 | 第20-21页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第21-22页 |
| ·课题来源 | 第21页 |
| ·课题研究的主要目标 | 第21页 |
| ·课题研究的主要内容 | 第21-22页 |
| 第二章 研磨装置、实验方法及初步隔振性能实验 | 第22-33页 |
| ·金刚石弹性浮动研磨原理与装置 | 第22-24页 |
| ·金刚石弹性浮动研磨工艺隔振性能与研磨质量的实验研究 | 第24-31页 |
| ·扰动因素分析与工艺研究的方法 | 第24页 |
| ·分析仪器设备 | 第24页 |
| ·实验样品准备 | 第24-25页 |
| ·振动测量分析方法 | 第25-26页 |
| ·试样表面研磨与测量方法 | 第26-27页 |
| ·弹性垫隔振性能与表面研磨实验 | 第27-29页 |
| ·弹性梁隔振性能与表面研磨实验 | 第29-31页 |
| ·小结 | 第31-33页 |
| 第三章 工艺参数对加工振动特征影响 | 第33-43页 |
| ·研磨盘端面跳动对系统振动影响 | 第33-36页 |
| ·研磨速度对加工过程振动特征影响 | 第36-38页 |
| ·研磨压力对加工过程振动特征影响 | 第38-41页 |
| ·小结 | 第41-43页 |
| 第四章 工艺参数对加工表面质量的影响 | 第43-50页 |
| ·研磨盘端跳对加工表面质量的影响 | 第43-45页 |
| ·研磨速度对加工表面质量的影响 | 第45-46页 |
| ·研磨压力对加工表面质量的影响 | 第46-48页 |
| ·小结 | 第48-50页 |
| 第五章 磨粒与研磨表面之间摩擦和冲击的实验分析 | 第50-62页 |
| ·问题的提出 | 第50-53页 |
| ·磨粒摩擦及冲击对研磨过程的影响 | 第53-55页 |
| ·磨盘磨粒和试样之间冲击与摩擦 | 第53-54页 |
| ·不同摩擦与阻尼实验 | 第54-55页 |
| ·磨粒与加工表面之间的冲击与摩擦的控制方法 | 第55-58页 |
| ·x方向增加柔性后磨粒与试样之间摩擦与冲击分析 | 第55-57页 |
| ·x方向增加柔性后研磨表面质量分析 | 第57-58页 |
| ·弹性梁的改造及研磨效果实验 | 第58-60页 |
| ·小结 | 第60-62页 |
| 结论与展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68页 |