| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·太阳能电池的研究现状及产业发展 | 第9-13页 |
| ·太阳能电池的研究背景 | 第9页 |
| ·太阳能电池的光电研究和应用 | 第9-12页 |
| ·太阳能电池的产业发展方向 | 第12-13页 |
| ·微晶硅薄膜太阳电池的研究现况及发展趋势 | 第13-15页 |
| ·微晶硅薄膜太阳电池的发展背景 | 第13-14页 |
| ·微晶硅薄膜太阳电池的发展趋势 | 第14-15页 |
| ·本论文主要的研究内容 | 第15页 |
| ·本论文的组织 | 第15-17页 |
| 第二章 太阳电池基础及制备工艺 | 第17-24页 |
| ·太阳电池发电原理及构造 | 第17-18页 |
| ·太阳电池的特性及性能参数 | 第18-23页 |
| ·太阳电池的输入输出特性 | 第18-20页 |
| ·太阳电池的性能参数 | 第20-23页 |
| ·薄膜太阳电池的性能测试 | 第23-24页 |
| 第三章 P型窗口材料及N型材料的研究 | 第24-38页 |
| ·应用于微晶硅薄膜太阳电池的P型窗口材料 | 第24-25页 |
| ·P型窗口材料的分类 | 第24页 |
| ·P型窗口材料对薄膜太阳能电池的性能影响 | 第24-25页 |
| ·实验设备及表征手段 | 第25-27页 |
| ·P型微晶硅薄膜材料的制备及性能分析 | 第27-33页 |
| ·硅烷浓度(SC)对薄膜材料沉积速率及晶化率的影响 | 第27-29页 |
| ·硼掺杂对薄膜材料微结构和光电性能的影响 | 第29-33页 |
| ·N型非晶硅薄膜材料的制备及性能分析 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 Ⅰ层材料的沉积与微晶硅电池的制备 | 第38-52页 |
| ·微晶硅薄膜太阳电池对Ⅰ层材料的性能要求 | 第38页 |
| ·衬底温度对微晶硅薄膜结构及光学特性的影响 | 第38-43页 |
| ·衬底温度对微晶硅薄膜沉积速率的影响 | 第39-40页 |
| ·衬底温度对微晶硅薄膜晶化率的影响 | 第40-43页 |
| ·衬底温度对微晶硅薄膜光学特性的影响 | 第43页 |
| ·硅烷浓度对微晶硅薄膜结构及光电特性的影响 | 第43-48页 |
| ·硅烷浓度对微晶硅薄膜沉积速率的影响 | 第44-45页 |
| ·硅烷浓度对微晶硅薄膜晶化率的影响 | 第45-47页 |
| ·硅烷浓度对微晶硅薄膜光电性能的影响 | 第47-48页 |
| ·微晶硅薄膜太阳电池的制备 | 第48-51页 |
| ·微晶硅太阳电池的制备工艺 | 第48-49页 |
| ·微晶硅电池实验结果与分析 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第五章 工作总结与展望 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 硕士研究生期间参与的研究课题 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |