| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-25页 |
| ·RF MEMS 简介 | 第11-15页 |
| ·RF MEMS 开关的研究意义 | 第15-17页 |
| ·RF MEMS 开关的研究现状 | 第17-24页 |
| ·欧姆接触式开关研究现状 | 第17-22页 |
| ·电容耦合式开关研究现状 | 第22-24页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第24-25页 |
| 第2章 RF MEMS 开关设计理论基础 | 第25-30页 |
| ·RF MEMS 开关简介 | 第25-27页 |
| ·RF MEMS 开关参数 | 第25-26页 |
| ·RF MEMS 开关分类 | 第26-27页 |
| ·电容式开关工作原理及基本结构 | 第27-28页 |
| ·接触式开关工作原理及基本结构 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 RF MEMS 开关的静态力学特性和电磁特性 | 第30-44页 |
| ·RF MEMS 开关的静态力学特性 | 第30-40页 |
| ·载荷位置对弹性系数的影响 | 第30-33页 |
| ·残余应力对弹性系数的影响 | 第33-36页 |
| ·梁上开孔对弹性系数的影响 | 第36页 |
| ·RF MEMS 开关的驱动电压 | 第36-40页 |
| ·RF MEMS 开关的电磁特性 | 第40-43页 |
| ·Up-state 电容值 | 第40页 |
| ·Down-state 电容值 | 第40-41页 |
| ·电容比C_(down)/C_(up) | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 低驱动电压RF MEMS 电容开关的设计 | 第44-56页 |
| ·RF MEMS 电容开关设计的关键问题 | 第44-46页 |
| ·建立微机械结构 | 第44页 |
| ·提高微波性能的方法 | 第44-45页 |
| ·选择微机械结构材料 | 第45-46页 |
| ·RF MEMS 电容开关的工艺模拟 | 第46-55页 |
| ·MEMS 技术基本加工工艺 | 第46-49页 |
| ·普通电容开关及其改进结构 | 第49-51页 |
| ·多电极RF MEMS 电容开关 | 第51-53页 |
| ·串联电容式RF MEMS 开关 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 RF MEMS 开关仿真分析 | 第56-68页 |
| ·MEMS 设计软件INTELLISUITE | 第56-57页 |
| ·RF MEMS 电容开关静态力学性能仿真 | 第57-62页 |
| ·普通电容开关及其改进结构驱动电压 | 第58-61页 |
| ·多电极RF MEMS 电容开关驱动电压 | 第61-62页 |
| ·RF MEMS 电容开关微波性能仿真 | 第62-66页 |
| ·插入损耗 | 第62-64页 |
| ·隔离度 | 第64-66页 |
| ·仿真结果讨论 | 第66-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |