| 提要 | 第1-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-29页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·光通信用 MOEMS 无源器件技术 | 第9-10页 |
| ·光开关 | 第10-19页 |
| ·光开关在光通信系统中的应用 | 第10-12页 |
| ·光开关相关技术现状 | 第12-16页 |
| ·MOEMS 光开关相关技术状况 | 第16-19页 |
| ·可变光衰减器 | 第19-23页 |
| ·可变光衰减器在光通信系统中的应用 | 第19-20页 |
| ·可变光衰减器相关技术状况 | 第20-21页 |
| ·微机械可变光衰减器相关技术状况 | 第21-23页 |
| ·课题的研究意义及主要研究内容 | 第23-25页 |
| ·研究意义 | 第23页 |
| ·主要研究内容 | 第23-25页 |
| 参考文献 | 第25-29页 |
| 第二章 高深宽比、大纵向尺寸结构体硅 MEMS 加工技术 | 第29-50页 |
| ·引言 | 第29-30页 |
| ·常用的几种 MEMS 加工技术 | 第30-35页 |
| ·表面 MEMS 加工技术 | 第30-31页 |
| ·体硅 MEMS 加工技术 | 第31-33页 |
| ·LIGA 加工技术 | 第33-35页 |
| ·全干法刻蚀SOI 体硅MEMS 加工工艺和全干法刻蚀SOG 体硅MEMS 加工工艺 | 第35-44页 |
| ·工艺流程 | 第35-37页 |
| ·主要关键技术 | 第37-43页 |
| ·工艺实验结果 | 第43-44页 |
| ·二次浓硼扩散/刻蚀体硅 MEMS 工艺 | 第44-47页 |
| ·工艺流程 | 第44-46页 |
| ·二次浓硼扩散/刻蚀体硅 MEMS 工艺实验结果 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-50页 |
| 第三章 MOEMS 光开关的制作技术研究 | 第50-92页 |
| ·引言 | 第50-51页 |
| ·静电驱动1×2、2×2 2D MOEMS 光开关结构和工作原理 | 第51-53页 |
| ·MOEMS 光开关的光耦合模式分析 | 第53-67页 |
| ·光纤(准直透镜)－自由空间－光纤(准直透镜) 光路结构对插入损耗的影响 | 第53-63页 |
| ·光纤（准直透镜）－自由空间－微反射镜－自由空间－光纤（准直透镜）光路结构对插入损耗的影响 | 第63-67页 |
| ·低电压、大位移、高速梳齿电容线位移静电驱动器结构设计原理 | 第67-73页 |
| ·静电驱动器 | 第67-69页 |
| ·线位移梳齿电容静电驱动器 | 第69-73页 |
| ·1×2、2×2 静电驱动 MOEMS 光开关的设计和加工 | 第73-85页 |
| ·锥角台面光纤的设计加工 | 第73-74页 |
| ·梳齿电容静电驱动 MOEMS 光开关驱动器设计 | 第74-78页 |
| ·芯片版图设计 | 第78-79页 |
| ·芯片加工 | 第79-83页 |
| ·器件封装 | 第83-85页 |
| ·1×8、4×4、8×8 光开关阵列的设计和加工 | 第85-89页 |
| ·光开关阵列结构的级联构造方式 | 第85-87页 |
| ·1×8、4×4、8×8 光开关阵列的制作 | 第87-89页 |
| ·本章小结 | 第89-91页 |
| 参考文献 | 第91-92页 |
| 第四章 MOEMS 可变光衰减器的设计和加工技术研究 | 第92-108页 |
| ·引言 | 第92页 |
| ·挡板式梳齿电容静电驱动MOEMS 可变光衰减器的结构及其工作原理 | 第92-93页 |
| ·低插入损耗、大动态衰减范围、低波长相关损耗、低偏振相关损耗、高回波损耗光学结构设计 | 第93-100页 |
| ·光衰减耦合模型分析 | 第93-95页 |
| ·回波损耗分析 | 第95-96页 |
| ·波长相关损耗分析 | 第96-97页 |
| ·偏振相关损耗分析 | 第97-98页 |
| ·光路结构设计 | 第98-100页 |
| ·驱动器设计 | 第100-102页 |
| ·版图结构设计 | 第102-103页 |
| ·芯片加工 | 第103-104页 |
| ·器件封装 | 第104-106页 |
| ·本章小结 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-108页 |
| 第五章 MOEMS 光开关和 MOEMS 可变光衰减器的参数测试 | 第108-124页 |
| ·引言 | 第108页 |
| ·MOEMS 光开关和 MOEMS 光衰减器的参数测试原理及方法 | 第108-118页 |
| ·MOEMS 光开关参数测试原理及方法 | 第108-117页 |
| ·MOEMS 可变光衰减器光机电参数测试原理及方法 | 第117-118页 |
| ·测试结果 | 第118-122页 |
| ·1×2、2×2 MOEMS 光开关性能参数测试结果 | 第118-119页 |
| ·MOEMS 可变光衰减器性能参数测试结果 | 第119-122页 |
| ·本章小结 | 第122-123页 |
| 参考文献 | 第123-124页 |
| 第六章 全文总结 | 第124-128页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文及其它成果 | 第128-130页 |
| 致谢 | 第130-131页 |
| 中文摘要 | 第131-134页 |
| 英文摘要 | 第134-137页 |
