| 独创性说明 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-20页 |
| ·概述 | 第8-9页 |
| ·化学机械抛光介绍 | 第9-10页 |
| ·抛光垫介绍 | 第10-14页 |
| ·固结磨料抛光垫概述 | 第14-17页 |
| ·现有抛光垫表面沟槽样式介绍 | 第17-18页 |
| ·课题提出的意义 | 第18-20页 |
| 2 抛光垫表面开槽的方法 | 第20-29页 |
| ·抛光垫表面开槽的方法介绍 | 第20-24页 |
| ·利用激光加工抛光垫沟槽 | 第24-29页 |
| 3 抛光垫表面开槽对抛光效果的影响 | 第29-46页 |
| ·沟槽对抛光效果的影响 | 第29-31页 |
| ·不同样式的沟槽对于抛光效果的影响 | 第31-36页 |
| ·沟槽深度对于抛光效果的影响 | 第36-37页 |
| ·沟槽宽度对于抛光效果的影响 | 第37-39页 |
| ·沟槽的密度对抛光效果的影响 | 第39-41页 |
| ·沟槽螺旋方向对抛光效果的影响 | 第41-42页 |
| ·沟槽尾部封闭对抛光效果的影响 | 第42-44页 |
| ·带沟槽的抛光垫与国外抛光垫抛光对比 | 第44-46页 |
| 4 含磨料抛光垫对抛光效果的影响 | 第46-61页 |
| ·含磨料抛光垫的物理性质 | 第46-52页 |
| ·抛光垫微观组织结构 | 第46-48页 |
| ·抛光垫硬度检测 | 第48页 |
| ·抛光垫厚度密度检测 | 第48-49页 |
| ·抛光垫压缩比和回弹率检测 | 第49-50页 |
| ·抛光垫表面粗糙度检测 | 第50-51页 |
| ·抛光垫吸收抛光液的能力 | 第51-52页 |
| ·含磨料抛光垫与同种材质不含磨料抛光垫抛光对比实验 | 第52-55页 |
| ·两种含不同尺寸磨料抛光垫的抛光对比实验 | 第55-57页 |
| ·抛光垫含磨料对抛光垫无修整状态下可持续工作时间的影响 | 第57-58页 |
| ·带沟槽的含磨料抛光垫 | 第58-61页 |
| 结论 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第68页 |