| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-30页 |
| 引言 | 第8页 |
| ·地震勘探技术的发展及其对检波器的要求 | 第8-12页 |
| ·地震检波技术的发展 | 第12-17页 |
| ·MEMS/MOEMS 加速度传感技术发展及其在地震检波技术上的应用 | 第17-26页 |
| ·基于光弹效应的加速度传感技术的发展 | 第26-27页 |
| ·本文的意义及工作 | 第27-30页 |
| 第二章 三分量光弹波导加速度传感器敏感单元的结构设计和理论分析 | 第30-61页 |
| ·三分量光弹波导加速度加传感器的总体结构设计 | 第30-32页 |
| ·光弹波导加速度加传感器的结构和工作原理 | 第30-32页 |
| ·三分量光弹波导加速度传感器的特性分析 | 第32-44页 |
| ·三分量光弹波导加速度传感器的静态特性分析 | 第33-34页 |
| ·三分量光弹波导加速度传感器的动态特性分析 | 第34-43页 |
| ·光弹加速度传感器的工作频带 | 第43-44页 |
| ·三分量光弹波导加速度传感器的光弹效应特性分析 | 第44-54页 |
| ·单向加速度作用下的光弹效应 | 第44-47页 |
| ·三维加速度作用下的光弹效应 | 第47-52页 |
| ·利用三维光弹效应求解三维加速度 | 第52-54页 |
| ·三分量光弹波导加速度传感器极间耦合分析 | 第54-59页 |
| ·组合式三分量光弹加速度传感器极间耦合分析 | 第55-56页 |
| ·一体化式三分量光弹加速度传感器极间耦合分析 | 第56-59页 |
| ·三分量光弹波导加速度传感器结构确定 | 第59页 |
| ·小结 | 第59-61页 |
| 第三章 双M-Z 干涉仪中光传输分析 | 第61-89页 |
| ·双M-Z干涉仪设计 | 第61-64页 |
| ·M-Z 干涉仪工作原理 | 第61-62页 |
| ·双M-Z 干涉仪工作原理及结构设计 | 第62-64页 |
| ·Ti：LINbO_3 单模波导设计 | 第64-73页 |
| ·Ti：LINbO_3 波导折射率分布 | 第64-67页 |
| ·有效折射率法分析波导模式传播特性 | 第67-73页 |
| ·对称 Y 分支波导优化设计 | 第73-79页 |
| ·对称Y 分支的工作原理 | 第74页 |
| ·Y 分支的改进 | 第74-76页 |
| ·S 型反正弦弯曲波导Y 分支设计 | 第76-79页 |
| ·光束传播法（BPM）分析双M-Z 干涉仪的光场传输 | 第79-88页 |
| ·有限差分光束传播法（FD-BPM） | 第79-80页 |
| ·光束传播法（BPM）的基本原理 | 第80-83页 |
| ·FD-BPM 对双M-Z 干涉仪光场传输的模拟仿真 | 第83-88页 |
| ·小结 | 第88-89页 |
| 第四章 三分量光弹波导加速度传感器工艺研究 | 第89-105页 |
| ·LiNbO_3 基片的准备和清洗 | 第89-91页 |
| ·LiNbO_3 基片的准备 | 第89-90页 |
| ·LiNbO_3 基片的清洗 | 第90-91页 |
| ·波导干涉仪光路的制作工艺、流程及实验结果 | 第91-104页 |
| ·双马赫-曾德干涉仪掩膜板设计制作 | 第91-92页 |
| ·双马赫-曾德干涉仪光路的制作 | 第92-104页 |
| ·小结 | 第104-105页 |
| 第五章 总结及展望 | 第105-107页 |
| ·论文完成的主要工作 | 第105-106页 |
| ·论文的主要创新 | 第106页 |
| ·进一步工作计划 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-117页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文和参加科研情况 | 第117-118页 |
| 致谢 | 第118页 |
