SAW器件基片的无损检测及应用的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-12页 |
| ·目的和意义 | 第9页 |
| ·国内外情况综述 | 第9-10页 |
| ·论文要解决的问题 | 第10-12页 |
| 第二章 材料对SAW 器件的影响 | 第12-16页 |
| ·SAW 器件简介 | 第12-13页 |
| ·材料各种性质对SAW 器件性能的影响 | 第13-16页 |
| 第三章 SAW 声速测试仪的制作原理 | 第16-24页 |
| ·传统对SAW 速度的典型检测方法(水浸法) | 第16-17页 |
| ·基本工作原理分析 | 第17-20页 |
| ·声表面波的激励、传播、与检测 | 第17-20页 |
| ·速度的计算 | 第20-24页 |
| ·直接计算声表面波速度 | 第20-23页 |
| ·间接法 | 第23-24页 |
| 第四章 工艺制作 | 第24-34页 |
| ·图形设计 | 第24页 |
| ·制版 | 第24页 |
| ·电极的制作过程包括清洗、镀膜和光刻 | 第24-25页 |
| ·夹具的制作与装配 | 第25页 |
| ·程序设计 | 第25-31页 |
| ·软件流程图如（图4-2） | 第26-31页 |
| ·制作的工艺优化 | 第31-33页 |
| ·信号的强度和稳定性 | 第32-33页 |
| ·重复精度的保证 | 第33页 |
| ·实验结果 | 第33-34页 |
| 第五章 在SAW 批生产中的运用情况 | 第34-40页 |
| ·对材料的辨别 | 第34页 |
| ·测定压电材料表面声速以及对频率的控制 | 第34-36页 |
| ·对体波寄生响应的分析和抑制 | 第36-39页 |
| ·背面开槽或打毛的程度与体波抑制效果的关系 | 第37-38页 |
| ·不同体波信号对SAW 器件性能可能产生的影响 | 第38-39页 |
| ·生产产品验证 | 第39-40页 |
| 第六章 结论及对今后工作的建议 | 第40-42页 |
| ·结论 | 第40页 |
| ·与国内外的比较 | 第40-41页 |
| ·对今后工作的建议 | 第41-42页 |
| 致谢 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-45页 |
| 附一 使用主要设备 | 第45页 |
| 附二 产品使用说明书 | 第45-49页 |
| 个人简历 | 第49页 |
| 在学期间参加的研究项目及获奖情况 | 第49页 |
| 在学期间发表的学术论文 | 第49页 |
