| 第一章 绪论 | 第1-14页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·MPR技术的物理机理 | 第8-9页 |
| ·MPR技术的实验装置 | 第9-11页 |
| ·MPR技术的发展与应用 | 第11-12页 |
| ·测定材料的热学参数 | 第11页 |
| ·对半导体材料的表征 | 第11-12页 |
| ·热反射成像应用 | 第12页 |
| ·论文选题的指导思想和研究工作介绍 | 第12-14页 |
| 第二章 MPR技术测量块状材料热扩散率的理论和实验研究 | 第14-23页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·理论模型 | 第14-16页 |
| ·实验系统 | 第16-17页 |
| ·利用频率扫描法测量块状材料的热扩散率 | 第17-21页 |
| ·频响法测量原理 | 第18-19页 |
| ·实验结果与讨论 | 第19-21页 |
| ·利用径向扫描法测量块状材料的热扩散率 | 第21-22页 |
| ·结论 | 第22-23页 |
| 第三章 薄膜-衬底材料的MPR信号理论研究 | 第23-31页 |
| ·引言 | 第23页 |
| ·理论模型 | 第23-25页 |
| ·薄膜样品的MPR频响信号 | 第25-28页 |
| ·不同厚度薄膜的频响信号 | 第25-26页 |
| ·不同热扩散率薄膜的频响信号 | 第26-27页 |
| ·不同界面热阻时的频响信号 | 第27-28页 |
| ·低扩散率薄膜的MPR径向扫描信号 | 第28-30页 |
| ·低扩散率薄膜径向扫描技术研究背景 | 第28-29页 |
| ·不同热学参数时的径向扫描相位信号 | 第29-30页 |
| ·结论 | 第30-31页 |
| 第四章 MPR相位信号的多参数拟合 | 第31-44页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·问题的数学描述 | 第31-33页 |
| ·遗传算法简介 | 第33-37页 |
| ·遗传算法概要 | 第33-34页 |
| ·遗传算法的运算过程 | 第34-35页 |
| ·遗传算法的应用 | 第35-36页 |
| ·遗传算法与其它优化算法的比较 | 第36-37页 |
| ·利用MPR信号拟合薄膜热学参数 | 第37-43页 |
| ·频率扫描信号的多参数拟合 | 第37-39页 |
| ·径向扫描信号的多参数拟合 | 第39-43页 |
| ·相位信号参数灵敏度和相关性研究 | 第39-42页 |
| ·遗传算法在拟合参数中的应用 | 第42-43页 |
| ·结论 | 第43-44页 |
| 第五章 各向异性材料热扩散张量的MPR方法研究 | 第44-62页 |
| ·引言 | 第44-45页 |
| ·各向异性材料中的温度场 | 第45-51页 |
| ·温度场理论模型 | 第45-48页 |
| ·光厚热厚样品的温度场 | 第47页 |
| ·光厚热薄样品的温度场： | 第47-48页 |
| ·结果与讨论： | 第48-51页 |
| ·样品前表面热波的频率特性 | 第48-49页 |
| ·样品中热波的空间分布 | 第49-51页 |
| ·测量各向异性材料热扩散率的理论研究 | 第51-61页 |
| ·各向异性材料的MPR信号 | 第51-52页 |
| ·分析与讨论 | 第52-61页 |
| ·导热主轴方向已知的热单轴样品 | 第52-55页 |
| ·导热主轴方向未知的热单轴样品 | 第55-57页 |
| ·两导热主轴在样品表面的正交各向异性样品 | 第57-59页 |
| ·一导热主轴在样品表面的正交各向异性样品 | 第59-61页 |
| ·结论 | 第61-62页 |
| 第六章 总结 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读硕士学位期间已发表的论文 | 第69-70页 |
| 学位论文独创性声明 | 第70页 |
| 学位论文使用授权声明 | 第70页 |