| 第一章 文献综述 | 第1-30页 |
| ·气敏材料概述 | 第11-12页 |
| ·氧敏材料概述 | 第12-14页 |
| ·WiO_2氧敏材料 | 第14-27页 |
| ·WiO_2的晶格结构特征 | 第15-16页 |
| ·TiO_2氧敏材料的氧敏机理 | 第16-18页 |
| ·TiO_2氧敏材料的研究现状 | 第18-20页 |
| ·WiO_2氧敏材料研究中存在的问题 | 第20-21页 |
| ·TiO_2氧敏材料氧敏性能的改善途径 | 第21-24页 |
| ·TiO_2氧敏薄膜的制备方法 | 第24-27页 |
| ·溶胶凝胶工艺介绍 | 第27-30页 |
| ·溶胶凝胶工艺特点和发展 | 第27-28页 |
| ·溶胶凝胶工艺的基本原理 | 第28-29页 |
| ·TiO_2溶胶体系中的溶胶凝胶过程 | 第29页 |
| ·溶胶凝胶工艺的一般过程 | 第29-30页 |
| 第二章 实验过程 | 第30-37页 |
| ·实验设备及原料 | 第30-31页 |
| ·实验设备 | 第30页 |
| ·实验原料 | 第30-31页 |
| ·TiO_2薄膜样品的制备 | 第31-34页 |
| ·溶液的配制 | 第31-32页 |
| ·基板的清洗工作 | 第32-33页 |
| ·镀膜 | 第33-34页 |
| ·退火 | 第34页 |
| ·性能测试 | 第34-37页 |
| ·X射线衍射(XRD)分析 | 第34-35页 |
| ·场发射扫描电镜(FE—SEM)分析 | 第35页 |
| ·氧敏性能测试 | 第35-37页 |
| 第三章 硅基板上Fe掺杂TiO_2薄膜的制备与结构研究 | 第37-45页 |
| ·X射线衍射(XRD)结果 | 第38-39页 |
| ·薄膜的微观形貌(SEM)结果 | 第39-40页 |
| ·结果讨论 | 第40-44页 |
| ·硅基板上Fe离子掺杂TiO_2薄膜的形貌分析 | 第40-41页 |
| ·Fe离子掺杂对TiO_2氧敏薄膜结晶性能的影响 | 第41-42页 |
| ·Fe离子掺杂对TiO_2薄膜中晶相的晶格常数的影响 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 石英及硅基板上TiO_2薄膜的制备及结晶性能研究 | 第45-54页 |
| ·实验结果 | 第45-49页 |
| ·XRD结果 | 第45-47页 |
| ·SEM结果 | 第47-49页 |
| ·结果讨论 | 第49-53页 |
| ·表面形貌分析 | 第49页 |
| ·石英基板和硅基板上TiO_2薄膜的晶相生长分析 | 第49-51页 |
| ·金红石相TiO_2薄膜取向性生长的研究 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 多孔TiO_2薄膜的制备与结构研究 | 第54-68页 |
| ·乙炔黑的添加对TiO_2多层薄膜微观形貌的影响 | 第55-57页 |
| ·PEG的添加对TiO_2多层薄膜结构的影响 | 第57-61页 |
| ·XRD结果 | 第57-58页 |
| ·SEM结果 | 第58-59页 |
| ·结果讨论 | 第59-61页 |
| ·PEG的添加对TiO_2单层薄膜结构的影响 | 第61-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第六章 金红石相TiO_2薄膜的氧敏性能研究 | 第68-75页 |
| ·石英基板和硅基板上TiO_2薄膜的氧敏性能比较 | 第68-69页 |
| ·Fe离子掺杂对硅基板上TiO_2薄膜的氧敏性能的影响 | 第69-72页 |
| ·PEG的添加对金红石TiO_2多孔薄膜氧敏性能的影响 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第七章 结论 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 攻读硕士学位期间主要研究成果 | 第84页 |
