| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-12页 |
| ·研究的意义及背景 | 第9-10页 |
| ·论文结构安排 | 第10-12页 |
| 第二章 高速单行载流子光探测器(UTC-PD) | 第12-25页 |
| ·UTC-PD的研究现状 | 第12-15页 |
| ·背向垂直入射式UTC-PD | 第12-13页 |
| ·边耦合波导式UTC-PD | 第13-14页 |
| ·集成全反射镜式UTC-PD | 第14-15页 |
| ·UTC-PD的基本原理 | 第15-16页 |
| ·UTC-PD的小信号模型 | 第16-19页 |
| ·UTC-PD的性能参数 | 第19-24页 |
| ·响应度和内量子效率 | 第19-21页 |
| ·响应时间和响应频率 | 第21-22页 |
| ·噪声性能和暗电流 | 第22-24页 |
| ·空穴的介电弛豫时间 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 背向垂直入射式UTC-PD的仿真研究及其高速性能的优化设计 | 第25-57页 |
| ·UTC-PD仿真模型 | 第25-32页 |
| ·基本方程 | 第25-26页 |
| ·数值解技术 | 第26-27页 |
| ·物理模型 | 第27-30页 |
| ·能带和异质结界面 | 第30-31页 |
| ·光学参数 | 第31-32页 |
| ·UTC-PD的微观特性分析 | 第32-41页 |
| ·能带结构和电场分布 | 第32-35页 |
| ·载流子分布 | 第35-39页 |
| ·电流密度 | 第39-41页 |
| ·UTC-PD的电学特性分析 | 第41-50页 |
| ·直流特性 | 第41-44页 |
| ·交流特性 | 第44-46页 |
| ·瞬态特性 | 第46-47页 |
| ·输出饱和特性 | 第47-50页 |
| ·UTC-PD吸收层采用Gaussian掺杂优化高速性能 | 第50-55页 |
| ·Gaussian掺杂的理论分析 | 第50-52页 |
| ·Gaussian掺杂应用于吸收层 | 第52-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第四章 用于光探测器封装中的传输线研究 | 第57-75页 |
| ·研究背景 | 第57-59页 |
| ·传输线理论基础 | 第59-63页 |
| ·传输线基本方程 | 第59-61页 |
| ·传输线参数 | 第61-63页 |
| ·背敷金属共面波导传输线的仿真分析 | 第63-67页 |
| ·电学参数 | 第64-65页 |
| ·HFSS简介 | 第65页 |
| ·仿真分析 | 第65-67页 |
| ·背敷金属共面波导差分线的设计 | 第67-74页 |
| ·奇模、偶模分析 | 第68-70页 |
| ·阻抗控制和匹配 | 第70-71页 |
| ·直耦合共面波导差分线的仿真设计 | 第71-72页 |
| ·Y形共面波导差分线的仿真设计 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第五章 100GHz光探测器模块的封装设计 | 第75-82页 |
| ·PD芯片的设计 | 第75-78页 |
| ·Taper形GSG Pad设计 | 第75-77页 |
| ·PIN光探测器高速性能的测量及结果分析 | 第77-78页 |
| ·带过孔的CBCPW设计 | 第78-80页 |
| ·PD芯片与CBCPW之间的连接 | 第80-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 作者攻读学位期间发表或已录用的学术论文 | 第87页 |