| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-6页 |
| 第一章 绪论 | 第6-18页 |
| ·机械特性的测量对于MEMS 的重要意义 | 第6-7页 |
| ·微悬臂梁机械特性测量的国内外现状 | 第7-16页 |
| ·本课题研究的主要目的和内容 | 第16-18页 |
| 第二章 显微激光多普勒技术 | 第18-26页 |
| ·多普勒效应 | 第18-20页 |
| ·显微激光多普勒技术 | 第20-26页 |
| 第三章 共振法测量悬臂梁杨氏模量的基本理论 | 第26-37页 |
| ·矩形悬臂梁的共振频率与杨氏模量之间的关系 | 第26-30页 |
| ·三角形悬臂梁的共振频率与杨氏模量之间的关系 | 第30-35页 |
| ·理论误差分析与总结 | 第35-37页 |
| 第四章 基于显微激光多普勒技术的微悬臂梁离面运动测试系统 | 第37-47页 |
| ·微悬臂梁离面测试系统的硬件组成 | 第37-41页 |
| ·微悬臂梁离面测试系统的操作软件 | 第41-47页 |
| 第五章 实验及其分析 | 第47-58页 |
| ·验证系统测试精度 | 第47-52页 |
| ·悬臂梁机械特性的测量 | 第52-56页 |
| ·误差及其分析 | 第56-58页 |
| 第六章 总结与展望 | 第58-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及参与的科研项目 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |