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二氧化钒薄膜的制备与光学特性研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-5页
目录第5-7页
第一章 绪论第7-18页
   ·VO_2的原子结构第8-9页
   ·VO_2的性质第9-11页
   ·二氧化矾的应用第11-12页
   ·二氧化钒薄膜的制备方法第12-14页
   ·二氧化矾薄膜研究进展第14-16页
   ·本论文的研究内容及目的第16-18页
第二章 二氧化钒薄膜的制备和测试第18-23页
   ·直流、射频磁控溅射设备简介第18-19页
   ·磁控溅射的实验原理及操作第19-20页
   ·样品制备的工艺过程第20-21页
   ·薄膜测试的仪器和方法第21-23页
第三章 不同衬底材料上制备的VO_2薄膜相变前后光学特性研究第23-32页
   ·引言第23-24页
   ·实验第24-25页
   ·实验的结果与讨论第25-31页
   ·本章小结第31-32页
第四章 非理想配比对VO_2薄膜喇曼散射的影响第32-37页
   ·引言第32-33页
   ·实验第33页
   ·结果与讨论第33-36页
   ·本章小结第36-37页
第五章 PcNi-VO_2复合膜相变前后光学特性研究第37-43页
   ·引言第37-38页
   ·实验第38-39页
   ·实验的结果与讨论第39-41页
   ·本章小结第41-43页
第六章 结论第43-44页
参考文献第44-49页
攻读硕士学位期间撰写的论文第49-50页
致谢第50页

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