工件台激光干涉仪测量误差模型研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-7页
1 绪论	第7-14页
·课题目的和意义	第7-8页
·步进扫描工件台技术及其测量技术的国内外现状	第8-12页
·课题来源	第12-13页
·论文主要内容	第13-14页
2 工件台及其测量系统介绍	第14-20页
·光刻机工件台水平运动控制方式及性能简介	第14-15页
·双频激光干涉仪测距与测角原理	第15-16页
·测量系统的组成布局以及系统特有的光路特点	第16-19页
·本章小结	第19-20页
3 工件台测量系统误差分析	第20-25页
·测试工件台定位误差简介	第20页
·双频激光干涉仪的测量过程	第20-21页
·误差分析	第21-24页
·本章小节	第24-25页
4 工件台激光干涉仪测量误差模型	第25-57页
·干涉仪模型中的基本概念定义与性质	第25-30页
·四种情形的模型	第30-43页
·干涉仪光束旋转和倾斜时的模型	第43-52页
·工件台干涉仪激光总模型	第52-56页
·本章小结	第56-57页
5 试验与测试校准	第57-68页
·工件台干涉仪旋转度校准测试	第57-62页
·工件台旋转倾斜所致套刻误差测试实验	第62-67页
·本章小结	第67-68页
6 总结与展望	第68-70页
·全文总结	第68页
·展望	第68-70页
致谢	第70-71页
参考文献	第71-73页