| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 前言 | 第8-20页 |
| ·软X 射线及其与物质相互作用 | 第9-10页 |
| ·折射率 | 第9-10页 |
| ·反射率 | 第10页 |
| ·软X 射线光学多层膜反射率的计算 | 第10-16页 |
| ·理想软X 射线光学多层膜反射率的计算 | 第11-13页 |
| ·非理想软X 射线光学多层膜反射率的计算 | 第13-16页 |
| ·软X 射线光学多层膜的特性及其改善 | 第16-18页 |
| ·软X 射线光学多层膜的结构特性 | 第16-17页 |
| ·软X 射线光学多层膜光学性能的改善 | 第17页 |
| ·软X 射线光学多层膜结构稳定性的改善 | 第17-18页 |
| ·软X 射线光学多层膜的制备方法 | 第18-19页 |
| ·本论文工作 | 第19-20页 |
| 第二章 Ti/Al软X射线光学多层膜的设计、制备与结构表征 | 第20-33页 |
| ·软X 射线光学多层膜结构设计原则 | 第20页 |
| ·Ti/Al 软X 射线光学多层膜的结构设计 | 第20-27页 |
| ·材料的选择 | 第20-23页 |
| ·结构设计 | 第23-27页 |
| ·Ti/Al 软X 射线光学多层膜的制备 | 第27-28页 |
| ·样品制备 | 第27-28页 |
| ·退火处理 | 第28页 |
| ·结构表征 | 第28-33页 |
| ·低角度X 射线衍射 | 第28-31页 |
| ·高角度X 射线衍射 | 第31-32页 |
| ·高分辨透射电镜 | 第32页 |
| ·原子力显微镜 | 第32-33页 |
| 第三章 Ti/Al软X射线光学多层膜的结构及退火结构演变 | 第33-55页 |
| ·溅射气压对Ti/Al 多层膜结构和热稳定性的影响 | 第33-39页 |
| ·Ti/Al 多层膜的结构 | 第33-36页 |
| ·Ti/Al 多层膜的表面形貌 | 第36-37页 |
| ·Ti/Al 多层膜的低温热稳定性 | 第37-39页 |
| ·Ti/Al 多层膜的结构和热稳定性 | 第39-52页 |
| ·制备态Ti/Al 多层膜 | 第39-43页 |
| ·退火Ti/Al 多层膜 | 第43-52页 |
| ·热力学解释 | 第52-54页 |
| ·小结 | 第54-55页 |
| 第四章 Ti/SiO_2/Al/SiO_2软X射线光学多层膜的结构和热稳定性 | 第55-67页 |
| ·Ti/SiO_2/Al/SiO_2软X射线光学多层膜的结构设计 | 第55-57页 |
| ·Ti/SiO_2/Al/SiO_2软X射线光学多层膜的结构及退火结构演变 | 第57-66页 |
| ·Ti/SiO_2/Al/SiO_2多层膜的结构 | 第57-61页 |
| ·Ti/SiO_2/Al/SiO_2多层膜的结构演变 | 第61-66页 |
| ·Ti/SiO_2/Al/SiO_2多层膜的表面形貌 | 第66页 |
| ·小结 | 第66-67页 |
| 第五章 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
