| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·研究的目的和意义 | 第8页 |
| ·微位移测量技术的国内外发展状况 | 第8-11页 |
| ·接触式测量方法 | 第8-9页 |
| ·非接触式测量方法 | 第9-11页 |
| ·主要研究内容 | 第11-12页 |
| 第二章 微位移测量系统的模型 | 第12-24页 |
| ·测量原理 | 第12-17页 |
| ·微位移测量系统模型建立 | 第17-24页 |
| ·无透镜系统模型 | 第17-19页 |
| ·带透镜系统模型 | 第19-20页 |
| ·系统参数优化 | 第20-24页 |
| 第三章 微位移测量系统参数标定算法 | 第24-31页 |
| ·系统标定算法分析 | 第24-29页 |
| ·最小二乘迭代参数标定算法 | 第24-27页 |
| ·随机逼近算法和随机Newton-Raphoson 参数标定算法 | 第27-29页 |
| ·Marquardt 参数标定算法 | 第29-31页 |
| 第四章 微位移测量系统的软硬件设计 | 第31-55页 |
| ·系统硬件设计 | 第31-49页 |
| ·悬臂梁和探针设计 | 第31-37页 |
| ·三维平移台 | 第37-38页 |
| ·PSD 传感器 | 第38-45页 |
| ·激光器 | 第45-46页 |
| ·滤光片和透镜 | 第46-47页 |
| ·采集卡 | 第47-49页 |
| ·系统软件设计 | 第49-55页 |
| ·LabVIEW 子VI 介绍 | 第49-51页 |
| ·LabVIEW 程序设计 | 第51-55页 |
| 第五章 实验与系统性能分析 | 第55-73页 |
| ·PSD 传感器的标定实验 | 第55-59页 |
| ·系统参数标定实验 | 第59-60页 |
| ·系统稳定性分析 | 第60-62页 |
| ·误差分析和精度评估 | 第62-64页 |
| ·测量实验 | 第64-73页 |
| 第六章 总结和展望 | 第73-75页 |
| ·主要工作总结 | 第73页 |
| ·技术展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第78-79页 |
| 附录1 圆柱面测量数据 | 第79-84页 |
| 致谢 | 第84页 |