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激光化学气相沉积法第二代高温超导薄膜及其缓冲层材料的制备及研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第一章 文献综述第12-33页
    1.1 超导材料概述及其发展历史第12-17页
        1.1.1 超导材料的发展历史第12-14页
        1.1.2 超导材料的参数条件及其特性第14-17页
    1.2 超导材料的应用第17-19页
        1.2.1 电力、能源和医疗方面的强电应用第17-18页
        1.2.2 电子和通信方面的弱电应用第18-19页
        1.2.3 交通方面的抗磁性应用第19页
    1.3 实用性高温超导材料第19-25页
        1.3.1 铋系高温超导体BSCCO第20-23页
        1.3.2 钇系高温超导体YBCO第23-25页
    1.4 YBCO带材的结构与制备第25-28页
        1.4.1 基带第25-26页
        1.4.2 缓冲层第26-27页
        1.4.3 超导层第27页
        1.4.4 保护层第27-28页
    1.5 薄膜的制备方法概述第28-30页
        1.5.1 三氟乙酸-金属有机沉积法第28页
        1.5.2 共蒸发法第28-29页
        1.5.3 磁控溅射法第29页
        1.5.4 脉冲激光沉积法第29页
        1.5.5 金属有机化学气相沉积法第29-30页
    1.6 本论文研究意义及内容第30-33页
        1.6.1 研究意义第30-31页
        1.6.2 研究内容第31-33页
第二章 薄膜制备和表征第33-45页
    2.1 激光化学气相沉积法第33-36页
        2.1.1 激光化学气相沉积法简介第33-34页
        2.1.2 激光化学气相沉积设备第34-36页
    2.2 原料制备第36-40页
        2.2.1 HDPM合成第37-38页
        2.2.2 YBCO及 CeO_2 前驱体合成第38-40页
        2.2.3 YBCO及 CeO_2 有机源制备第40页
    2.3 YBCO薄膜及CeO_2 缓冲层薄膜制备第40-41页
    2.4 薄膜测试方法第41-45页
        2.4.1 X射线衍射第41-43页
        2.4.2 场发射扫描及背散射电子显微镜第43页
        2.4.3 电感耦合等离子质谱第43-45页
第三章 YBCO薄膜的制备工艺研究第45-55页
    3.1 引言第45页
    3.2 实验过程第45-46页
        3.2.1 实验原料第45页
        3.2.2 .实验过程第45-46页
        3.2.3 表征方法第46页
    3.3 结果与讨论第46-53页
        3.3.1 YBCO薄膜样品物相及微观结构分析第46-51页
        3.3.2 前驱体蒸发温度对薄膜样品的影响第51页
        3.3.3 后期制备YBCO薄膜比对分析第51-53页
    3.4 小结第53-55页
第四章 CeO_2 缓冲层及YBCO超导层的制备研究第55-71页
    4.1 引言第55-56页
    4.2 实验过程第56-57页
    4.3 结果讨论第57-69页
        4.3.1 缓冲层CeO_2薄膜的研究第57-65页
            4.3.1.1 CeO_2薄膜晶相结构研究第58-59页
            4.3.1.2 CeO_2薄膜结晶度与面内取向研究第59-62页
            4.3.1.3 CeO_2薄膜的极图研究第62-64页
            4.3.1.4 CeO_2薄膜微观结构研究第64-65页
        4.3.2 超导层YBCO薄膜的研究第65-69页
            4.3.2.1 YBCO薄膜的物相、结晶度和面内取向研究.第66-67页
            4.3.2.2 YBCO薄膜的微观结构研究第67-69页
    4.4 本章小结第69-71页
第五章 结论与展望第71-73页
    5.1 结论第71-72页
    5.2 展望第72-73页
参考文献第73-81页
攻读硕士期间发表的论文第81-82页
致谢第82页

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