基于MEMS技术的光学读出非制冷红外成像系统研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-39页 |
| ·引言 | 第13-14页 |
| ·红外探测技术概述 | 第14-21页 |
| ·红外辐射 | 第14-16页 |
| ·红外探测技术的发展 | 第16-18页 |
| ·红外探测技术的分类 | 第18-20页 |
| ·红外探测器的主要性能参数 | 第20-21页 |
| ·热致变形型红外探测器 | 第21-31页 |
| ·电学读出热致变形型红外探测器的研究进展 | 第22-24页 |
| ·光学读出热致变形型红外探测器的研究进展 | 第24-30页 |
| ·本课题组的研究工作 | 第30-31页 |
| ·本论文的主要工作 | 第31-32页 |
| 参考文献 | 第32-39页 |
| 第2章 光学读出非制冷红外成像系统 | 第39-55页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·光学读出非制冷红外成像系统的框架结构 | 第39-40页 |
| ·无基底焦平面阵列 | 第40-47页 |
| ·结构特征及制造工艺 | 第40-44页 |
| ·材料选择 | 第44页 |
| ·物理模型 | 第44-47页 |
| ·热学模型 | 第45-46页 |
| ·热机械模型 | 第46-47页 |
| ·光学读出系统 | 第47-49页 |
| ·常用的光学读出方法 | 第48页 |
| ·基于刀口滤波成像的光学读出系统 | 第48-49页 |
| ·光学灵敏度分析模型 | 第49页 |
| ·光学读出非制冷红外成像系统的性能表征 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-55页 |
| 第3章 无基底焦平面阵列的性能分析 | 第55-93页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·有限元方法 | 第55-57页 |
| ·有限元方法概述 | 第55-56页 |
| ·商用有限元软件——ANSYS | 第56页 |
| ·ANSYS的热应力分析 | 第56-57页 |
| ·热学性能 | 第57-72页 |
| ·问题描述 | 第57-58页 |
| ·有限元模型 | 第58-61页 |
| ·静态热分析 | 第61-71页 |
| ·热流率密度 | 第61-62页 |
| ·第一种热加载及结果分析 | 第62-65页 |
| ·第二种热加载及结果分析 | 第65-67页 |
| ·第三种热加载及结果分析 | 第67-71页 |
| ·热学性能的计算 | 第71-72页 |
| ·热学模型的修正 | 第72页 |
| ·热机械性能 | 第72-75页 |
| ·有限元模型 | 第72-73页 |
| ·结构分析及其讨论 | 第73-74页 |
| ·热机械性能的计算 | 第74-75页 |
| ·热机械模型的修正 | 第75页 |
| ·实验验证 | 第75-84页 |
| ·实验系统 | 第76页 |
| ·无基底FPA | 第76-77页 |
| ·成像结果 | 第77-78页 |
| ·热响应灵敏度 | 第78-81页 |
| ·实验测量 | 第78-80页 |
| ·分析计算 | 第80-81页 |
| ·噪声等效温度差 | 第81-84页 |
| ·增强型的支撑框架 | 第84-88页 |
| ·物理模型 | 第84-86页 |
| ·实施方案 | 第86-87页 |
| ·性能收益 | 第87-88页 |
| ·本章小结 | 第88-90页 |
| 参考文献 | 第90-93页 |
| 第4章 反光板弯曲时的光学检测灵敏度及其优化 | 第93-107页 |
| ·引言 | 第93页 |
| ·理论分析模型 | 第93-95页 |
| ·光学检测灵敏度分析 | 第95-101页 |
| ·理想反光板 | 第95-97页 |
| ·弯曲反光板 | 第97-101页 |
| ·光学优化方法 | 第101-103页 |
| ·实验验证 | 第103-105页 |
| ·本章小结 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-107页 |
| 第5章 图像采集处理系统的设计与实现 | 第107-121页 |
| ·引言 | 第107页 |
| ·性能需求 | 第107-108页 |
| ·方案论证 | 第108-109页 |
| ·总体设计 | 第109-116页 |
| ·设计思想 | 第109-110页 |
| ·硬件结构 | 第110-113页 |
| ·工作流程 | 第113页 |
| ·芯片选择 | 第113-115页 |
| ·成像芯片的选择 | 第113-114页 |
| ·DSP的选择 | 第114-115页 |
| ·FPGA的选择 | 第115页 |
| ·系统PCB设计 | 第115-116页 |
| ·系统调试及结果 | 第116-118页 |
| ·本章小结 | 第118-120页 |
| 参考文献 | 第120-121页 |
| 第6章 总结与展望 | 第121-124页 |
| ·全文工作总结 | 第121-122页 |
| ·未来工作展望 | 第122-124页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的研究成果 | 第124-126页 |
| 致谢 | 第126-127页 |
