| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第11-23页 |
| 1.1 引言 | 第11页 |
| 1.2 减反膜的种类 | 第11-16页 |
| 1.2.1 单层减反膜 | 第11-13页 |
| 1.2.2 双层减反膜 | 第13页 |
| 1.2.3 多层减反膜 | 第13-15页 |
| 1.2.4 其他膜系 | 第15-16页 |
| 1.3 减反膜的设计理论 | 第16-18页 |
| 1.3.1 导纳图解技术 | 第16-17页 |
| 1.3.2 光学常数的提取 | 第17-18页 |
| 1.4 薄膜制备技术 | 第18-21页 |
| 1.4.1 薄膜制备工艺 | 第18-20页 |
| 1.4.2 光学薄膜材料 | 第20-21页 |
| 1.5 本论文的主要研究内容与创新点 | 第21-23页 |
| 2 SiO_2/SnO_2、SiO_2/TiO_2基双层减反膜的制备及性能 | 第23-39页 |
| 2.1 实验过程 | 第23-33页 |
| 2.1.1 实验试剂和仪器 | 第23-24页 |
| 2.1.2 测试与表征 | 第24页 |
| 2.1.3 SiO_2单层薄膜的制备与光学常数的提取 | 第24-25页 |
| 2.1.4 SnO_2单层薄膜的制备与光学常数的提取 | 第25-27页 |
| 2.1.5 Sb-SnO_2单层薄膜的制备与光学常数的提取 | 第27-28页 |
| 2.1.6 TiO_2单层薄膜的制备与光学常数的提取 | 第28-29页 |
| 2.1.7 SiO_2/SnO_2双层减反膜的模拟设计与制备 | 第29-30页 |
| 2.1.8 SiO_2/Sb-SnO_2双层减反膜的模拟设计与制备 | 第30-32页 |
| 2.1.9 SiO_2/TiO_2双层减反膜的模拟设计与制备 | 第32-33页 |
| 2.2 结果与讨论 | 第33-37页 |
| 2.2.1 SiO_2/SnO_2双层减反膜的光学性能 | 第33-34页 |
| 2.2.2 SiO_2/Sb-SnO_2双层减反膜的光学性能 | 第34页 |
| 2.2.3 SiO_2/TiO_2双层减反膜的光学性能 | 第34-35页 |
| 2.2.4 单层薄膜的结构表征 | 第35-37页 |
| 2.2.5 SiO_2/SnO_2、SiO_2/TiO_2基双层减反膜的结构表征 | 第37页 |
| 2.3 本章小结 | 第37-39页 |
| 3 SiO_2/SnO_2、SiO_2/TiO_2基三层减反膜的制备及性能 | 第39-54页 |
| 3.1 实验过程 | 第39-48页 |
| 3.1.1 实验试剂和仪器 | 第39页 |
| 3.1.2 测试与表征 | 第39页 |
| 3.1.3 折射率可调SiO_2-SnO_2复合薄膜的制备与光学常数的提取 | 第39-44页 |
| 3.1.4 SiO_2/SnO_2/SiO_2-SnO_2三层减反膜的模拟设计与制备 | 第44-45页 |
| 3.1.5 SiO_2/Sb-SnO_2/SiO_2-SnO_2三层减反膜的模拟设计与制备 | 第45-47页 |
| 3.1.6 SiO_2/TiO_2/SiO_2-SnO_2三层减反膜的模拟设计与制备 | 第47-48页 |
| 3.2 结果与讨论 | 第48-52页 |
| 3.2.1 SiO_2/SnO_2/SiO_2-SnO_2三层减反膜的光学性能 | 第48-49页 |
| 3.2.2 SiO_2/Sb-SnO_2/SiO_2-SnO_2三层减反膜的光学性能 | 第49-50页 |
| 3.2.3 SiO_2/TiO_2/SiO_2-SnO_2三层减反膜的光学性能 | 第50页 |
| 3.2.4 SiO_2-SnO_2复合薄膜的结构表征 | 第50-51页 |
| 3.2.5 SiO_2/SnO_2、SiO_2-SnO_2基三层减反膜的结构表征 | 第51-52页 |
| 3.3 本章小结 | 第52-54页 |
| 4 SiO_2/SnO_2、SiO_2/TiO_2基四层减反膜的制备及性能 | 第54-63页 |
| 4.1 实验过程 | 第54-59页 |
| 4.1.1 实验试剂和仪器 | 第54页 |
| 4.1.2 测试与表征 | 第54页 |
| 4.1.3 SiO_2/SnO_2/SiO_2-SnO_2/SiO_2四层减反膜的模拟设计与制备 | 第54-55页 |
| 4.1.4 SiO_2/Sb-SnO_2/SiO_2-SnO_2/SiO_2四层减反膜的模拟设计与制备 | 第55-57页 |
| 4.1.5 SiO_2/TiO_2/SiO_2-SnO_2/SiO_2四层减反膜的模拟设计与制备 | 第57-59页 |
| 4.2 结果与讨论 | 第59-61页 |
| 4.2.1 SiO_2/SnO_2/SiO_2-SnO_2/SiO_2四层减反膜的光学性能 | 第59页 |
| 4.2.2 SiO_2/Sb-SnO_2/SiO_2-SnO_2/SiO_2四层减反膜的光学性能 | 第59-60页 |
| 4.2.3 SiO_2/TiO_2/SiO_2-SnO_2/SiO_2四层减反膜的光学性能 | 第60-61页 |
| 4.2.4 SiO_2/SnO_2、SiO_2/TiO_2基四层减反膜的结构表征 | 第61页 |
| 4.3 本章小结 | 第61-63页 |
| 结论与展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果 | 第73页 |
