| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第16-28页 |
| 1.1 引言 | 第16页 |
| 1.2 多自由度运动平台概述 | 第16-23页 |
| 1.2.1 多自由度宏动平台 | 第17-19页 |
| 1.2.2 柔性机构和多自由度微动精密平台 | 第19-23页 |
| 1.3 非共振压电作动器概述 | 第23-26页 |
| 1.4 本研究的意义、目标及主要内容 | 第26-28页 |
| 第二章 压电材料简介及压电叠堆性能测试 | 第28-38页 |
| 2.1 引言 | 第28页 |
| 2.2 压电陶瓷简介 | 第28-32页 |
| 2.2.1 压电方程 | 第28-29页 |
| 2.2.2 机电耦合系数 | 第29页 |
| 2.2.3 压电迟滞 | 第29页 |
| 2.2.4 压电叠堆结构 | 第29-30页 |
| 2.2.5 压电叠堆输出力与位移的关系 | 第30-31页 |
| 2.2.6 压电带宽 | 第31-32页 |
| 2.3 压电叠堆的使用 | 第32-33页 |
| 2.4 压电叠堆的实验研究 | 第33-37页 |
| 2.5 本章小节 | 第37-38页 |
| 第三章 双柔铰导向式非共振压电作动器的设计 | 第38-50页 |
| 3.1 引言 | 第38页 |
| 3.2 作动器结构和工作原理 | 第38-43页 |
| 3.2.1 作动器结构 | 第38-40页 |
| 3.2.2 工作原理 | 第40-41页 |
| 3.2.3 可行性分析 | 第41-43页 |
| 3.3 作动器的实验研究 | 第43-49页 |
| 3.3.1 定子结构振幅实验 | 第43-45页 |
| 3.3.2 速度与电压、频率之间关系 | 第45-46页 |
| 3.3.3 作动器正、反向速度特性实验 | 第46页 |
| 3.3.4 作动器输出位移分辨率实验 | 第46-48页 |
| 3.3.5 作动器负载特性实验 | 第48-49页 |
| 3.4 讨论与分析 | 第49页 |
| 3.5 本章小节 | 第49-50页 |
| 第四章 菱形惯性粘滑型压电作动器的设计 | 第50-60页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 菱形放大机构 | 第50-52页 |
| 4.3 作动器结构 | 第52-56页 |
| 4.4 作动器作动性能实验 | 第56-58页 |
| 4.4.1 驱动足振幅实验 | 第56-57页 |
| 4.4.2 作动器的速度-电压/频率关系实验 | 第57页 |
| 4.4.3 作动器输出位移分辨率实验 | 第57-58页 |
| 4.5 压电作动器存在的问题 | 第58-59页 |
| 4.6 本章小节 | 第59-60页 |
| 第五章 双柔铰导向式压电作动器在串联二自由度平台的应用 | 第60-67页 |
| 5.1 引言 | 第60页 |
| 5.2 串联平台结构 | 第60-63页 |
| 5.3 串联平台性能初步实验 | 第63-66页 |
| 5.3.1 串联平台定位速度实验 | 第63-64页 |
| 5.3.2 串联平台定位分辨率实验 | 第64-66页 |
| 5.4 本章小节 | 第66-67页 |
| 第六章 菱形惯性粘滑型作动器在并联三自由度微位移精密定位平台中的应用 | 第67-77页 |
| 6.1 引言 | 第67页 |
| 6.2 并联平台结构 | 第67-70页 |
| 6.3 并联平台作动性能实验 | 第70-75页 |
| 6.3.1 平台的升降速度实验 | 第71-72页 |
| 6.3.2 平台转动速度特性实验 | 第72-73页 |
| 6.3.3 平台定位分辨率实验 | 第73-75页 |
| 6.4 实验中遇到的问题 | 第75-76页 |
| 6.5 本章小节 | 第76-77页 |
| 第七章 总结与展望 | 第77-80页 |
| 7.1 本文主要贡献 | 第77-78页 |
| 7.2 本文创新点 | 第78-79页 |
| 7.3 进一步工作展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第85页 |
| 学术论文 | 第85页 |
| 专利 | 第85页 |