| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第17-33页 |
| 1.1 课题背景与来源 | 第17-18页 |
| 1.2 宏微复合运动平台国内外研究现状 | 第18-21页 |
| 1.3 宏微运动平台减振方法研究现状 | 第21-24页 |
| 1.4 宏微运动平台的控制与定位方法研究现状 | 第24-29页 |
| 1.5 研究内容与章节安排 | 第29-33页 |
| 1.5.1 研究内容 | 第29页 |
| 1.5.2 章节内容安排 | 第29-33页 |
| 第二章 宏微复合运动平台及其动力学建模 | 第33-49页 |
| 2.1 引言 | 第33-34页 |
| 2.2 宏微复合运动平台的结构设计 | 第34-37页 |
| 2.2.1 宏微复合平台的结构 | 第34-35页 |
| 2.2.2 微动台结构 | 第35-36页 |
| 2.2.3 宏微运动过程描述 | 第36-37页 |
| 2.3 宏微复合平台的动力学建模与仿真 | 第37-41页 |
| 2.3.1 动力学建模 | 第37-40页 |
| 2.3.2 动力学仿真分析 | 第40-41页 |
| 2.4 宏微复合运动平台的搭建与微动台参数设置 | 第41-47页 |
| 2.4.1 宏微平台系统建立 | 第42-43页 |
| 2.4.2 平台谐振影响分析 | 第43-45页 |
| 2.4.3 微动台弹簧刚度与实际输出量 | 第45-46页 |
| 2.4.4 微动台的迟滞补偿 | 第46-47页 |
| 2.5 本章小结 | 第47-49页 |
| 第三章 宏微复合运动平台定位过程的外部主动减振方法与实验 | 第49-81页 |
| 3.1 引言 | 第49-50页 |
| 3.2 高速运动平台定位过程的持续振动问题 | 第50-51页 |
| 3.3 平台主动减振的理论分析 | 第51-56页 |
| 3.3.1 平台振动能量碰撞衰减的数学表达 | 第51-55页 |
| 3.3.2 平台减振过程的频域响应 | 第55-56页 |
| 3.4 高速运动平台定位过程的外部压电减振方法 | 第56-65页 |
| 3.4.1 平台定位过程外部压电减振装置 | 第56-57页 |
| 3.4.2 基于模态叠加的平台减振分析 | 第57-60页 |
| 3.4.3 减振压电作用时机与作用量的动态确定方法 | 第60-62页 |
| 3.4.4 外部压电减振的实现过程 | 第62-65页 |
| 3.5 外部压电减振方法的实验分析 | 第65-80页 |
| 3.5.1 振动能量及振幅衰减实验 | 第65-67页 |
| 3.5.2 不同运动条件下的减振效果实验 | 第67-71页 |
| 3.5.3 减振实施动作的确定 | 第71-80页 |
| 3.6 本章小结 | 第80-81页 |
| 第四章 基于微动台压电驱动件的快速切换与振动抑制 | 第81-95页 |
| 4.1 引言 | 第81-82页 |
| 4.2 微动台的快速切换与抑振方法 | 第82-88页 |
| 4.2.1 宏微快速切换与微动台抑振的理论表达 | 第82-84页 |
| 4.2.2 宏微快速切换与微动台抑振的原理 | 第84-85页 |
| 4.2.3 微动台快速切换启动时机与动态减振作用量的确定 | 第85-88页 |
| 4.3 微动台快速切换与减振实验 | 第88-92页 |
| 4.3.1 不同行程下的快速减振与稳定时间比较 | 第88-89页 |
| 4.3.2 不同速度下的快速减振与稳定时间比较 | 第89-90页 |
| 4.3.3 不同加速度下的快速减振与稳定时间比较 | 第90-92页 |
| 4.4 本章小结 | 第92-95页 |
| 第五章 平台精密定位过程的动态误差补偿方法与实验 | 第95-103页 |
| 5.1 引言 | 第95页 |
| 5.2 微动台精密定位误差的双向动态补偿方法 | 第95-98页 |
| 5.3 平台定位过程的动态误差补偿方法实验 | 第98-101页 |
| 5.3.1 不同运动参数下的平台定位精度 | 第98-100页 |
| 5.3.2 不同补偿方法的定位精度比较 | 第100-101页 |
| 5.4 本章小结 | 第101-103页 |
| 第六章 宏微复合运动平台的控制系统开发与性能实验 | 第103-117页 |
| 6.1 引言 | 第103页 |
| 6.2 宏微运动平台PID控制 | 第103-106页 |
| 6.2.1 宏微运动平台的控制结构 | 第103-104页 |
| 6.2.2 基于遗传算法的PID参数优化 | 第104-106页 |
| 6.3 运动平台的集成控制系统开发 | 第106-110页 |
| 6.3.1 平台硬件及通讯 | 第107-108页 |
| 6.3.2 平台集成控制系统界面 | 第108-110页 |
| 6.4 宏微运动平台的实验系统搭建与性能测试实验 | 第110-115页 |
| 6.4.1 实验系统搭建 | 第110-111页 |
| 6.4.2 平台的高速高加速度大行程运动测试 | 第111-112页 |
| 6.4.3 平台不同运动参数下的高精度定位实验 | 第112-115页 |
| 6.5 本章小结 | 第115-117页 |
| 第七章 总结与展望 | 第117-120页 |
| 7.1 论文工作总结 | 第117-118页 |
| 7.2 论文创新点 | 第118-119页 |
| 7.3 研究展望 | 第119-120页 |
| 参考文献 | 第120-138页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第138-139页 |
| 攻读博士学位期间授权(申请)的发明专利 | 第139页 |
| 攻读博士学位期间登记的软件著作权 | 第139-141页 |
| 致谢 | 第141-142页 |
