薄膜衍射成像系统高级衍射光的仿真分析
摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5-6页 |
第1章 绪论 | 第9-22页 |
1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-12页 |
1.1.1 课题的背景 | 第9-10页 |
1.1.2 课题研究的目的和意义 | 第10-12页 |
1.2 薄膜衍射成像系统及其相关理论的发展概况 | 第12-19页 |
1.2.1 国外研究现状 | 第12-15页 |
1.2.2 国内研究现状 | 第15-19页 |
1.2.3 国内外文献综述的简析 | 第19页 |
1.3 本文的主要研究内容 | 第19-22页 |
第2章 薄膜衍射光学系统的高级衍射性能 | 第22-30页 |
2.1 系统结构与成像性能 | 第22-23页 |
2.2 衍射元件的高级衍射特性 | 第23-26页 |
2.3 光学系统的高级衍射光特性分析 | 第26-28页 |
2.3.1 主镜的高级衍射光特性分析 | 第26-27页 |
2.3.2 校正镜的高级衍射光特性分析 | 第27-28页 |
2.4 本章小结 | 第28-30页 |
第3章 薄膜衍射光学系统的高级衍射光仿真 | 第30-46页 |
3.1 仿真软件ASAP | 第30-35页 |
3.1.1 仿真软件ASAP简介 | 第30-31页 |
3.1.2 仿真软件ASAP设计的步骤 | 第31-32页 |
3.1.3 本文所用仿真软件ASAP的功能 | 第32-35页 |
3.2 ASAP衍射系统模型构建 | 第35-37页 |
3.3 高级衍射光仿真结果 | 第37-44页 |
3.3.1 系统高级衍射光特性独立分析 | 第37-40页 |
3.3.2 系统高级衍射光特性综合分析 | 第40-44页 |
3.4 本章小结 | 第44-46页 |
第4章 薄膜衍射光学系统的高级衍射光抑制 | 第46-61页 |
4.1 支撑结构方案 | 第46-48页 |
4.1.1 连接主镜、校正镜的横梁设计 | 第46-47页 |
4.1.2 连接横梁与各元件的支架设计 | 第47页 |
4.1.3 系统保护外壳设计 | 第47-48页 |
4.2 含支撑结构情况下的高级衍射光分析与仿真 | 第48-52页 |
4.2.1 高级衍射杂光分析 | 第48-51页 |
4.2.2 太阳辐射杂光分析 | 第51页 |
4.2.3 反射镜反射杂光分析 | 第51-52页 |
4.3 结构优化 | 第52-60页 |
4.3.1 优化结构抑制系统高级衍射光 | 第52-56页 |
4.3.2 优化结构抑制太阳辐射 | 第56-59页 |
4.3.3 优化结构抑制反射镜反射杂光 | 第59-60页 |
4.4 本章小结 | 第60-61页 |
结论 | 第61-62页 |
参考文献 | 第62-66页 |
攻读学位期间发表的学术论文及科研成果 | 第66-68页 |
致谢 | 第68页 |