| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 铁电材料及其基本特性 | 第12-13页 |
| 1.2 铁电材料的应用 | 第13-15页 |
| 1.3 储能介电材料的研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3.1 线性电介质材料的储能研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3.2 铁电储能电容器的研究现状 | 第17-18页 |
| 1.3.3 反铁电储能电容器的研究现状 | 第18页 |
| 1.4 电卡效应概述及其研究现状 | 第18-22页 |
| 1.4.1 电卡效应概述 | 第18-20页 |
| 1.4.2 电卡效应研究现状 | 第20-22页 |
| 1.5 PZT薄膜的晶体结构 | 第22-24页 |
| 1.5.1 PZT薄膜掺杂改性研究 | 第23-24页 |
| 1.6 铁电薄膜的主要制备方法 | 第24-26页 |
| 1.6.1 磁控溅射法 | 第24页 |
| 1.6.2 脉冲激光沉积法 | 第24-25页 |
| 1.6.3 溶胶凝胶法 | 第25页 |
| 1.6.4 金属有机化学气相沉积(MOCVD) | 第25-26页 |
| 1.6.5 分了束外延 | 第26页 |
| 1.7 本课题研究的主要内容 | 第26-28页 |
| 第二章 Nd掺杂PZT薄膜的制备 | 第28-36页 |
| 2.1 实验原料与设备 | 第28-29页 |
| 2.1.1 实验原料 | 第28页 |
| 2.1.2 实验设备及测试仪器 | 第28-29页 |
| 2.2 溶胶的制备 | 第29-30页 |
| 2.3 薄膜的制备 | 第30-33页 |
| 2.3.1 基片的清洗 | 第31页 |
| 2.3.2 旋涂工艺的制定 | 第31-33页 |
| 2.4 结构与性能表征方法 | 第33-35页 |
| 2.4.1 相组成分析 | 第33页 |
| 2.4.2 微观形貌分析 | 第33页 |
| 2.4.3 电学性能分析 | 第33-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 Nd掺杂PZT薄膜储能性能和电卡性能的研究 | 第36-46页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 相结构分析 | 第36-37页 |
| 3.3 微观形貌分析 | 第37-39页 |
| 3.3.1 断面分析 | 第38-39页 |
| 3.4 铁电性能分析 | 第39-41页 |
| 3.4.1 温度对PNZT薄膜铁电性能的影响 | 第40-41页 |
| 3.5 储能性能分析 | 第41-43页 |
| 3.5.1 温度对PNZT薄膜储能性能的影响 | 第42-43页 |
| 3.6 PNZT薄膜电卡性能分析 | 第43-44页 |
| 3.7 小结 | 第44-46页 |
| 第四章 不同Zr/Ti比PNZT薄膜储能性能和电卡性能研究 | 第46-55页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 相结构分析 | 第46-47页 |
| 4.3 断面形貌分析 | 第47-48页 |
| 4.4 铁电性能分析 | 第48-50页 |
| 4.4.1 温度对PNZT薄膜铁电性能的影响 | 第49-50页 |
| 4.5 储能性能分析 | 第50-52页 |
| 4.5.1 温度对PNZT薄膜储能性能的影响 | 第51-52页 |
| 4.6 电卡性能分析 | 第52-54页 |
| 4.7 小结 | 第54-55页 |
| 第五章 不同晶化退火时间PNT薄膜储能与电卡性能的研究 | 第55-60页 |
| 5.1 相结构分析 | 第55-56页 |
| 5.2 铁电性能分析 | 第56-57页 |
| 5.3 储能性能分析 | 第57-58页 |
| 5.3.1 温度对PNT薄膜储能性能的影响 | 第57-58页 |
| 5.4 电卡性能分析 | 第58-59页 |
| 5.5 小结 | 第59-60页 |
| 第六章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 6.1 论文总结 | 第60-61页 |
| 6.2 工作展望 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文情况 | 第70页 |
