二维工作台三维角度误差检测及补偿系统研制
| 致谢 | 第7-8页 |
| 摘要 | 第8-9页 |
| ABSTRACT | 第9页 |
| 第一章 绪论 | 第15-24页 |
| 1.1 概述 | 第15-16页 |
| 1.2 微小角度测量的技术概述 | 第16-21页 |
| 1.2.1 微小角度测量的特点 | 第16页 |
| 1.2.2 微小角度测量的方法与发展 | 第16-21页 |
| 1.3 具有角度修正功能的纳米定位工作台研究现状 | 第21-23页 |
| 1.4 课题来源、研究内容 | 第23-24页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第23页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第23-24页 |
| 第二章 DVD角度测量方法研究 | 第24-35页 |
| 2.1 DVD光学头工作原理 | 第24-27页 |
| 2.2 像散法 | 第27-28页 |
| 2.3 光学读取头的应用 | 第28-30页 |
| 2.3.1 基于光学读取头的测量表面轮廓 | 第28-29页 |
| 2.3.2 DVD读取头用于原子力显微镜 | 第29-30页 |
| 2.4 自准直原理 | 第30-32页 |
| 2.5 DVD光学头角度测量原理 | 第32-35页 |
| 第三章 角度测量系统整体方案设计 | 第35-47页 |
| 3.1 整体方案 | 第35页 |
| 3.2 机械结构设计 | 第35-37页 |
| 3.3 硬件电路设计 | 第37-42页 |
| 3.3.1 差动放大电路设计 | 第37-39页 |
| 3.3.2 二级放大电路设计 | 第39页 |
| 3.3.3 除法电路设计 | 第39-40页 |
| 3.3.4 滤波电路设计 | 第40-41页 |
| 3.3.5 PCB设计 | 第41-42页 |
| 3.4 信号数据采集 | 第42-47页 |
| 3.4.1 采集卡硬件参数 | 第42-43页 |
| 3.4.2 数据采集系统软件设计 | 第43-47页 |
| 第四章 角度补偿方法研究 | 第47-58页 |
| 4.1 基于微动台的角度补偿方法 | 第47-53页 |
| 4.1.1 六自由度工作台结构 | 第48-49页 |
| 4.1.2 微动工作台角度运动 | 第49-53页 |
| 4.2 反馈控制程序 | 第53-58页 |
| 4.2.1 反馈控制系统硬件组成 | 第53-54页 |
| 4.2.2 控制软件功能模块设计 | 第54-56页 |
| 4.2.3 角度误差反馈控制程序 | 第56-58页 |
| 第五章 实验测试与数据分析 | 第58-70页 |
| 5.1 角度测量系统实验测试 | 第58-63页 |
| 5.1.1 标定实验 | 第58-60页 |
| 5.1.2 重复性 | 第60-62页 |
| 5.1.3 稳定性 | 第62-63页 |
| 5.2 角度补偿反馈控制系统测试 | 第63-70页 |
| 5.2.1 工作台特性 | 第63-67页 |
| 5.2.2 角度误差补偿测试 | 第67-70页 |
| 第六章 总结与展望 | 第70-71页 |
| 6.1 研究总结 | 第70页 |
| 6.2 展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 攻读硕士期间研究成果 | 第74页 |
