基于马赫曾德尔结构的硅基光开关的设计研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 光通信技术调研 | 第10-11页 |
| 1.2 常用光电集成器件材料 | 第11页 |
| 1.3 硅基光开关研究现状与发展趋势 | 第11-19页 |
| 1.3.1 硅基光开关的总体研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3.2 干涉型硅基光开关 | 第13-16页 |
| 1.3.3 谐振型硅基光开关 | 第16-18页 |
| 1.3.4 硅基光开关的发展趋势 | 第18-19页 |
| 1.4 本论文的创新点及主要内容 | 第19-22页 |
| 第二章 硅基光电子器件加工工艺与实验测试系统 | 第22-36页 |
| 2.1 硅基材料特性 | 第22页 |
| 2.2 硅基电光调制理论基础 | 第22-25页 |
| 2.2.1 电光效应 | 第23-24页 |
| 2.2.2 热光效应 | 第24-25页 |
| 2.3 硅基光电子器件加工工艺 | 第25-29页 |
| 2.4 实验仪器与测试系统搭建 | 第29-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-36页 |
| 第三章 硅基电光开关的结构设计与仿真 | 第36-52页 |
| 3.1 光学结构的选取 | 第36-39页 |
| 3.1.1 MZI结构 | 第36-37页 |
| 3.1.2 谐振腔结构 | 第37-39页 |
| 3.2 电学结构的实现 | 第39-41页 |
| 3.3 脊状波导结构参数设计与FDTD仿真 | 第41-47页 |
| 3.3.1 脊状波导结构参数 | 第41-42页 |
| 3.3.2 参数设计与FDTD仿真 | 第42-47页 |
| 3.4 掺杂情况与PN区非对称结构的提出 | 第47-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-52页 |
| 第四章 硅基电光开关性能测试与分析 | 第52-72页 |
| 4.1 硅基电光开关的版图设计 | 第52-53页 |
| 4.2 实验电路设计 | 第53-54页 |
| 4.3 电光开关性能指标 | 第54-55页 |
| 4.4 无源测试 | 第55-57页 |
| 4.5 有源测试 | 第57-70页 |
| 4.5.1 直流测试 | 第59-60页 |
| 4.5.2 动态测试 | 第60-70页 |
| 4.6 本章小结 | 第70-72页 |
| 第五章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 5.1 论文总结 | 第72页 |
| 5.2 论文展望 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-82页 |
| 硕士期间发表文章 | 第82-84页 |
| 致谢 | 第84-86页 |
