| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 隔振技术国内外研究现状 | 第11-20页 |
| 1.2.1 被动隔振技术研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.2 半主动隔振技术研究现状 | 第14-18页 |
| 1.2.3 主动隔振技术研究现状 | 第18-20页 |
| 1.3 精密设备隔微振设备国内外研究现状 | 第20-24页 |
| 1.3.1 硬式主动隔振结构技术 | 第20-22页 |
| 1.3.2 软式主动隔振结构技术 | 第22-24页 |
| 1.4 本课题的主要研究内容 | 第24-26页 |
| 第2章 气浮支撑隔振单元结构设计及特性分析 | 第26-48页 |
| 2.1 引言 | 第26页 |
| 2.2 主动隔振单元结构设计 | 第26-30页 |
| 2.2.1 静压气浮隔振单元结构设计 | 第27-28页 |
| 2.2.2 基于音圈电机主动控制单元结构设计 | 第28-30页 |
| 2.3 主动隔振单元特性分析 | 第30-38页 |
| 2.3.1 主气室结构特性分析 | 第31-32页 |
| 2.3.2 底部气浮面结构特性分析 | 第32-33页 |
| 2.3.3 球碗轴承结构特性分析 | 第33-35页 |
| 2.3.4 环形气浮面结构特性分析 | 第35-37页 |
| 2.3.5 静压气浮结构特性分析 | 第37-38页 |
| 2.4 主动隔振平台系统特性分析 | 第38-47页 |
| 2.4.1 隔振平台六自由度运动学方程 | 第38-40页 |
| 2.4.2 音圈电机输出力分析 | 第40-42页 |
| 2.4.3 隔振平台六自由度运动学方程分析 | 第42-47页 |
| 2.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第3章 主动隔振系统控制方法的研究 | 第48-63页 |
| 3.1 引言 | 第48页 |
| 3.2 主动隔振系统单自由度控制模型 | 第48-49页 |
| 3.3 主动隔振系统单自由度定位控制策略设计与分析 | 第49-52页 |
| 3.3.1 被动隔振以及初步定位功能控制策略设计 | 第49-52页 |
| 3.3.2 主动控制精确定位功能控制策略设计 | 第52页 |
| 3.4 主动隔振功能控制算法设计 | 第52-62页 |
| 3.4.1 隔振系统速度反馈控制控制性能的分析 | 第53-57页 |
| 3.4.2 隔振系统加速度反馈控制性能的分析 | 第57-60页 |
| 3.4.3 隔振系统复合控制性能的分析 | 第60-62页 |
| 3.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第4章 隔振系统信号调理与控制部分设计 | 第63-79页 |
| 4.1 引言 | 第63页 |
| 4.2 主动隔振平台控制系统工作原理 | 第63-65页 |
| 4.2.1 主动隔振系统结构分析 | 第63-64页 |
| 4.2.2 主动隔振系统控制及工作原理 | 第64-65页 |
| 4.3 超低频振动传感器信号调理电路设计 | 第65-70页 |
| 4.3.1 高增益线性低通放大器的设计 | 第66-69页 |
| 4.3.2 核心控制器选择 | 第69-70页 |
| 4.4 主动控制器软件部分设计 | 第70-78页 |
| 4.4.1 控制器软件总体流程 | 第70-73页 |
| 4.4.2 控制器软件控制模块设计 | 第73-75页 |
| 4.4.3 主动复合反馈PID控制软件实现 | 第75-78页 |
| 4.5 本章小结 | 第78-79页 |
| 第5章 实验与分析 | 第79-93页 |
| 5.1 引言 | 第79页 |
| 5.2 高增益多级线性放大器频响特性实验 | 第79-81页 |
| 5.3 气浮隔振单元主动隔振性能实验分析 | 第81-86页 |
| 5.3.1 隔振单元主/被动控制振动速度测试与分析 | 第81-82页 |
| 5.3.2 隔振单元主/被动控制振动加速度测试与分析 | 第82-83页 |
| 5.3.3 隔振单元主/被动隔振系统固有频率测试与分析 | 第83-84页 |
| 5.3.4 隔振单元主/被动控制垂向定位精度测试与分析 | 第84-86页 |
| 5.4 隔振系统主动隔振性能实验分析 | 第86-92页 |
| 5.4.1 隔振系统主/被动控制振动速度测试与分析 | 第86-88页 |
| 5.4.2 隔振系统主/被动控制振动加速度测试与分析 | 第88-89页 |
| 5.4.3 隔振系统主/被动控制固有频率测试与分析 | 第89-90页 |
| 5.4.4 隔振系统主/被动控制定位精度测试与分析 | 第90-92页 |
| 5.5 本章小结 | 第92-93页 |
| 结论 | 第93-94页 |
| 参考文献 | 第94-99页 |
| 致谢 | 第99页 |
