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氢气对石墨烯CVD生长的影响机制研究

中文摘要第3-5页
英文摘要第5-6页
1 绪论第9-21页
    1.1 石墨烯的结构、性质和应用第9-10页
    1.2 CVD法合成石墨烯的研究进展第10-13页
        1.2.1 CVD法合成石墨烯的影响因素第10-11页
        1.2.2 CVD法合成石墨烯的研究进展第11-12页
        1.2.3 CVD法合成石墨烯存在的问题第12-13页
    1.3 石墨烯岛的概论及可控制备的研究进展第13-19页
        1.3.1 石墨烯岛的概论第13-17页
        1.3.2 石墨烯岛可控制备的研究进展第17-19页
    1.4 课题的研究目的和内容第19-21页
2 实验部分第21-33页
    2.1 实验试剂与器材第21-22页
        2.1.1 实验试剂和材料第21页
        2.1.2 实验仪器第21-22页
    2.2 CVD法制备石墨烯第22-27页
        2.2.1 铜箔的清洗与铜膜的制备第22-24页
        2.2.2 石墨烯的CVD合成方法第24-26页
        2.2.3 石墨烯的转移方法第26-27页
    2.3 石墨烯的表征方法第27-33页
        2.3.1 光学显微镜(OM)第27-28页
        2.3.2 拉曼光谱仪(Raman)第28-29页
        2.3.3 扫描电子显微镜(SEM)第29页
        2.3.4 电子背散射衍射(EBSD)第29-30页
        2.3.5 原子力显微镜(AFM)第30页
        2.3.6 透射电子显微镜(TEM)第30-31页
        2.3.7 方块电阻分析-四探针电导率仪第31页
        2.3.8 X-射线衍射(XRD)第31页
        2.3.9 X射线光电子能谱分析(XPS)第31-33页
3 氢气对石墨烯合成过程的影响研究第33-49页
    3.1 前言第33页
    3.2 实验结果与讨论第33-47页
        3.2.1 生长阶段有无H_2对铜箔表面石墨烯生长的影响第33-40页
        3.2.2 CH_4流量对无H_2的生长阶段生长石墨烯的影响第40-41页
        3.2.3 生长阶段无H_2条件下退火时间对石墨烯生长的影响第41-43页
        3.2.4 H_2在退火和生长阶段的作用第43-47页
    3.3 本章小结第47-49页
4 石墨烯岛的动力学影响研究第49-59页
    4.1 前言第49页
    4.2 实验结果与讨论第49-58页
        4.2.1 铜膜催化合成石墨烯的研究第49-50页
        4.2.2 氢气对调控石墨烯岛成核密度的影响第50-54页
        4.2.3 二段氢气对石墨烯岛的形状的影响第54-56页
        4.2.4 二段碳源对调控石墨烯岛形状的影响第56-58页
    4.3 本章小结第58-59页
5 氢气对碳在金属内部的溶解和析出过程的影响第59-69页
    5.1 前言第59页
    5.2 结果与讨论第59-66页
        5.2.1 合成过程中有无H_2对铜膜和钴膜的表面结构以及石墨烯生长的影响第59-63页
        5.2.2 在不同的阶段是否通入H_2对铜膜和钴膜催化合成石墨烯的研究第63-66页
    5.3 本章小结第66-69页
6 结论及展望第69-71页
    6.1 结论第69页
    6.2 展望第69-71页
致谢第71-73页
参考文献第73-81页
附录第81页
    A 作者在攻读硕士学位期间发表的论文和专利目录第81页
    B 作者在攻读硕士学位期间获得的奖励第81页

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