| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 钛合金 | 第9-11页 |
| 1.2.1 钛合金的性能与应用 | 第9-10页 |
| 1.2.2 钛合金在应用中存在的问题 | 第10页 |
| 1.2.3 钛合金材料表面改性研究进展 | 第10-11页 |
| 1.3 金刚石及金刚石薄膜 | 第11-16页 |
| 1.3.1 金刚石及金刚石薄膜的性能 | 第11-13页 |
| 1.3.2 金刚石薄膜的制备方法 | 第13-14页 |
| 1.3.3 金刚石薄膜的生长模式 | 第14页 |
| 1.3.4 金刚石薄膜的生长的影响因素 | 第14-16页 |
| 1.4 纳米金刚石薄膜研究现状 | 第16-18页 |
| 1.4.1 纳米金刚石薄膜的制备现状 | 第16-17页 |
| 1.4.2 纳米金刚石薄膜在牙科医学材料的应用 | 第17-18页 |
| 1.5 本文研究的目的及意义 | 第18-19页 |
| 2 实验原理与实验方法 | 第19-34页 |
| 2.1 薄膜的制备 | 第19-24页 |
| 2.1.1 金刚石薄膜沉积设备 | 第19-20页 |
| 2.1.2 制备方法 | 第20-24页 |
| 2.2 薄膜的表征 | 第24-28页 |
| 2.2.1 拉曼光谱分析仪(Raman) | 第25-26页 |
| 2.2.2 场发射扫描电子显微镜(FE-SEM) | 第26-27页 |
| 2.2.3 原子力显微镜(AFM) | 第27-28页 |
| 2.2.4 X射线衍射(XRD) | 第28页 |
| 2.3 样品性能测定 | 第28-34页 |
| 2.3.1 划痕测试 | 第29-30页 |
| 2.3.2 摩擦磨损实验 | 第30-31页 |
| 2.3.3 电化学测试 | 第31-32页 |
| 2.3.4 细胞增殖检测 | 第32-33页 |
| 2.3.5 细胞凋亡检测 | 第33页 |
| 2.3.6 统计学分析 | 第33-34页 |
| 3 纳米金刚石薄膜在硅基上生长参数研究 | 第34-46页 |
| 3.1 硅基沉积纳米金刚石反应气体配比 | 第34页 |
| 3.2 CH_4浓度设置对沉积金刚石薄膜的影响 | 第34-42页 |
| 3.2.1 CH_4/H_2=2% | 第35-37页 |
| 3.2.2 CH_4/H_2=4% | 第37-38页 |
| 3.2.3 CH_4/Total=2% | 第38-40页 |
| 3.2.4 CH_4/Total=4% | 第40-42页 |
| 3.3 Ar浓度对金刚石薄膜的影响 | 第42-44页 |
| 3.4 硅基纳米金刚石薄膜的制备 | 第44-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 4 纳米金刚石薄膜在钛合金上生长参数研究 | 第46-56页 |
| 4.1 钛合金基体纳米金刚石薄膜沉积工艺参数 | 第46页 |
| 4.2 基体预处理对钛合金沉积纳米金刚石的影响 | 第46-48页 |
| 4.3 基体温度对钛合金沉积纳米金刚石的影响 | 第48-51页 |
| 4.4 气体压强对钛合金沉积纳米金刚石的影响 | 第51-53页 |
| 4.5 钛合金基体纳米金刚石薄膜的制备 | 第53-55页 |
| 4.6 本章小结 | 第55-56页 |
| 5 钛合金表面沉积纳米/微米金刚石薄膜及其性能研究 | 第56-73页 |
| 5.1 钛基金刚石薄膜的制备 | 第56页 |
| 5.2 金刚石表面形貌和质量 | 第56-59页 |
| 5.3 膜基结合强度 | 第59-60页 |
| 5.4 摩擦学性能 | 第60-63页 |
| 5.5 耐腐蚀性 | 第63-64页 |
| 5.6 生物相容性 | 第64-71页 |
| 5.6.1 细胞毒性评估 | 第64-69页 |
| 5.6.2 流式细胞法评估 | 第69-71页 |
| 5.7 本章小结 | 第71-73页 |
| 6 结论 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-84页 |
| 攻读学位期间主要的研究成果目录 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85页 |