| 中文摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 绪论 | 第7-18页 |
| 1.1 绪论 | 第7页 |
| 1.2 直拉单晶炉 | 第7-12页 |
| 1.2.1 直拉单晶炉结构 | 第8-9页 |
| 1.2.2 晶体生长工艺流程 | 第9-11页 |
| 1.2.3 晶体生长控制问题分析 | 第11-12页 |
| 1.3 模型预测控制理论 | 第12-16页 |
| 1.3.1 模型预测控制基本原理 | 第12-14页 |
| 1.3.2 多模型及多模型预测控制原理 | 第14-16页 |
| 1.4 本文主要研究内容和组织结构 | 第16-18页 |
| 第二章 模型参数辨识算法及线性化理论 | 第18-28页 |
| 2.1 系统建模及参数辨识原理 | 第18-20页 |
| 2.1.1 系统建模 | 第18-19页 |
| 2.1.2 参数辨识 | 第19-20页 |
| 2.2 Active-Set算法 | 第20-24页 |
| 2.3 非线性数学模型的线性化 | 第24-27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 基于SIMULINK的直拉单晶炉热场模型参数辨识 | 第28-44页 |
| 3.1 直拉单晶炉热平衡分析 | 第28-36页 |
| 3.1.1 稳定化期间籽晶的热平衡分析 | 第29-32页 |
| 3.1.2 全炉的热平衡分析 | 第32-33页 |
| 3.1.3 热不平衡条件时温度改变过程的定性分析 | 第33页 |
| 3.1.4 热量流动分析 | 第33-36页 |
| 3.2 基于Simulink直拉单晶炉加热-升温模型建立 | 第36-39页 |
| 3.2.1 热量流动与温度变化的定性分析 | 第36-37页 |
| 3.2.2 加热温升模型的结构 | 第37-39页 |
| 3.3 等径阶段加热-升温模型参数辨识及模型线性化 | 第39-42页 |
| 3.3.1 Simulink Design Optimization工具箱 | 第39页 |
| 3.3.2 等径阶段参数辨识及模型线性化 | 第39-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 基于模型预测算法的单晶炉温度控制 | 第44-56页 |
| 4.1 引入模型预测控制 | 第44-45页 |
| 4.2 等径阶段模型预测控制器设计及其仿真 | 第45-48页 |
| 4.2.1 单晶炉等径阶段模型预测控制器设计 | 第45-46页 |
| 4.2.2 单晶炉等径阶段MPC和PID控制效果比较 | 第46-47页 |
| 4.2.3 单晶炉等径阶段MPC和PID抗干扰比较 | 第47-48页 |
| 4.3 基于多模型切换的单晶炉温度控制 | 第48-54页 |
| 4.3.1 单晶炉晶体生长主要阶段温度控制问题描述 | 第48-49页 |
| 4.3.2 单晶炉晶体生长主要工艺阶段温度模型参数辨识 | 第49-52页 |
| 4.3.3 单晶炉晶体生长主要工艺阶段温度控制及其仿真 | 第52-54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-56页 |
| 第五章 结论 | 第56-58页 |
| 5.1 主要结论 | 第56页 |
| 5.2 研究展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 在学期间的研究成果 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
