| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 高频软磁材料的发展概述 | 第12-14页 |
| 1.1.1 软磁材料的发展与应用 | 第12-13页 |
| 1.1.2 Fe基软磁薄膜的高频磁性 | 第13-14页 |
| 1.2 FeGa磁致伸缩软磁材料 | 第14-17页 |
| 1.2.1 磁致伸缩效应 | 第14-15页 |
| 1.2.2 磁致伸缩材料的发展与应用 | 第15-16页 |
| 1.2.3 FeGa磁致伸缩材料的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3 论文的选题意义及内容 | 第17-18页 |
| 参考文献 | 第18-20页 |
| 第二章 理论基础 | 第20-29页 |
| 2.1 磁性材料的基本磁性参数 | 第20-22页 |
| 2.2 各向异性 | 第22-25页 |
| 2.2.1 随机各向异性 | 第22-23页 |
| 2.2.2 形状各向异性 | 第23页 |
| 2.2.3 应力各向异性 | 第23-24页 |
| 2.2.4 交换各向异性 | 第24页 |
| 2.2.5 磁晶各向异性 | 第24-25页 |
| 2.2.6 感生各向异性 | 第25页 |
| 2.3 薄膜的动态磁化机制 | 第25-27页 |
| 参考文献 | 第27-29页 |
| 第三章 薄膜制备和样品性能表征 | 第29-38页 |
| 3.1 薄膜制备 | 第29-31页 |
| 3.1.1 溅射原理 | 第29-30页 |
| 3.1.2 磁控溅射的基本原理 | 第30页 |
| 3.1.3 射频磁控溅射 | 第30-31页 |
| 3.2 薄膜的性能表征 | 第31-37页 |
| 3.2.1 台阶仪(SurfaceProfile-meter) | 第31页 |
| 3.2.2 X射线衍射仪(XRD) | 第31页 |
| 3.2.3 扫描电子显微镜(SEM) | 第31-32页 |
| 3.2.4 X射线能量色散谱(EDS) | 第32页 |
| 3.2.5 振动样品磁强计(VSM) | 第32-33页 |
| 3.2.6 矢量网络分析仪(VNA) | 第33-34页 |
| 3.2.7 电子自旋共振仪(ESR) | 第34-37页 |
| 参考文献 | 第37-38页 |
| 第四章 FeGa单层薄膜的磁性研究 | 第38-48页 |
| 4.1 厚度对FeGa薄膜磁性能的影响 | 第38-41页 |
| 4.1.1 实验条件 | 第38页 |
| 4.1.2 厚度对FeGa薄膜结构和形貌的影响 | 第38-40页 |
| 4.1.3 厚度对FeGa薄膜磁性能的影响 | 第40-41页 |
| 4.1.5 小结 | 第41页 |
| 4.2 磁场热处理对FeGa薄膜磁性能的影响 | 第41-45页 |
| 4.2.1 实验条件 | 第41-42页 |
| 4.2.2 热处理温度对FeGa薄膜结构和形貌的影响 | 第42页 |
| 4.2.3 热处理温度对FeGa薄膜的磁性能的影响 | 第42-44页 |
| 4.2.4 小结 | 第44-45页 |
| 4.3 本章总结 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 第五章 FeGa/FeCo双层膜的磁性研究 | 第48-72页 |
| 5.1 厚度对FeGa/FeCo双层膜磁性能的影响 | 第48-53页 |
| 5.1.1 实验条件 | 第48页 |
| 5.1.2 厚度对FeGa/FeCo双层膜结构的影响 | 第48-49页 |
| 5.1.3 厚度对FeGa/FeCo双层膜磁性能的影响 | 第49-52页 |
| 5.1.4 小结 | 第52-53页 |
| 5.2 衬底对FeGa/FeCo双层膜磁性能的影响 | 第53-56页 |
| 5.2.1 实验条件 | 第53-54页 |
| 5.2.2 衬底对FeGa/FeCo双层膜结构、形貌的影响 | 第54页 |
| 5.2.3 衬底对FeGa/FeCo双层膜磁性能的影响 | 第54-56页 |
| 5.2.4 小结 | 第56页 |
| 5.3 应力对FeGa/FeCo双层膜磁性能的影响 | 第56-62页 |
| 5.3.1 实验条件 | 第57页 |
| 5.3.2 应力对FeGa/FeCo双层膜结构、形貌的影响 | 第57-59页 |
| 5.3.3 应力对FeGa/FeCo双层膜磁性能的影响 | 第59-61页 |
| 5.3.4 小结 | 第61-62页 |
| 5.4 沉积温度对FeGa/FeCo双层膜磁性能的影响 | 第62-65页 |
| 5.4.1 实验条件 | 第62页 |
| 5.4.2 沉积温度对FeGa/FeCo双层膜结构、形貌的影响 | 第62-63页 |
| 5.4.3 沉积温度对FeGa/FeCo双层膜磁性能的影响 | 第63-65页 |
| 5.4.4 小结 | 第65页 |
| 5.5 磁场热处理对FeGa/FeCo双层膜磁性能的影响 | 第65-69页 |
| 5.5.1 实验条件 | 第65-66页 |
| 5.5.2 磁场热处理对FeGa/FeCo双层膜结构和形貌的影响 | 第66-67页 |
| 5.5.3 磁场热处理对FeGa/FeCo双层膜磁性能的影响 | 第67-68页 |
| 5.5.4 小结 | 第68-69页 |
| 5.6 本章总结 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-72页 |
| 第六章 FeGa/FeNi双层膜的磁性研究 | 第72-85页 |
| 6.1 厚度对FeGa/FeNi双层膜磁性能的影响 | 第72-76页 |
| 6.1.1 实验条件 | 第72页 |
| 6.1.2 厚度对FeGa/FeNi双层膜结构的影响 | 第72-73页 |
| 6.1.3 厚度对FeGa/FeNi双层膜磁性能的影响 | 第73-75页 |
| 6.1.4 小结 | 第75-76页 |
| 6.2 斜溅射角度对FeGa/FeNi双层膜磁性能的影响 | 第76-78页 |
| 6.2.1 实验条件 | 第77页 |
| 6.2.2 斜溅射角度对FeGa/FeNi双层膜结构的影响 | 第77页 |
| 6.2.3 斜溅射角度对FeGa/FeNi双层膜磁性能的影响 | 第77页 |
| 6.2.4 小结 | 第77-78页 |
| 6.3 应力对FeGa/FeNi双层膜磁性能的影响 | 第78-83页 |
| 6.3.1 实验条件 | 第79页 |
| 6.3.2 应力对FeGa/FeNi双层膜结构的影响 | 第79-80页 |
| 6.3.3 应力对FeGa/FeNi双层膜磁性能的影响 | 第80-83页 |
| 6.3.4 小结 | 第83页 |
| 6.4 本章总结 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-85页 |
| 第七章 总结 | 第85-87页 |
| 在学期间科研成果 | 第87-88页 |
| 致谢 | 第88页 |
