| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 耐磨减摩镀层的发展 | 第9-10页 |
| 1.1.1 硬质耐磨镀层 | 第9-10页 |
| 1.1.2 固体润滑镀层 | 第10页 |
| 1.2 非晶碳膜的研究进展 | 第10-14页 |
| 1.2.1 碳材料的发展 | 第10-11页 |
| 1.2.2 类金刚石碳基薄膜的研究进展 | 第11-12页 |
| 1.2.3 类石墨碳基薄膜的研究进展 | 第12-13页 |
| 1.2.4 非晶碳膜的改性 | 第13-14页 |
| 1.3 本课题的研究目的及意义 | 第14-15页 |
| 1.4 本课题的研究内容和技术路线 | 第15-17页 |
| 1.4.1 研究内容 | 第15-16页 |
| 1.4.2 技术路线 | 第16-17页 |
| 2 实验内容及实验方法 | 第17-27页 |
| 2.1 实验设备及材料 | 第17-18页 |
| 2.1.1 薄膜溅射沉积设备 | 第17-18页 |
| 2.1.2 实验材料准备 | 第18页 |
| 2.2 薄膜制备工艺参数 | 第18-22页 |
| 2.2.1 薄膜的结构 | 第18-19页 |
| 2.2.2 Me-C梯度复合结合层制备工艺参数 | 第19-20页 |
| 2.2.3 Me-C二元完整薄膜制备工艺参数 | 第20-21页 |
| 2.2.4 多元非晶碳膜制备工艺参数 | 第21页 |
| 2.2.5 薄膜的热氧化处理 | 第21-22页 |
| 2.3 薄膜表征方法 | 第22-27页 |
| 2.3.1 成分分析 | 第22页 |
| 2.3.2 沉积形貌分析 | 第22页 |
| 2.3.3 碳键结构特征 | 第22-23页 |
| 2.3.4 基本力学性能 | 第23-24页 |
| 2.3.5 摩擦学性能 | 第24-27页 |
| 3 实验结果与讨论 | 第27-69页 |
| 3.1 不同Me-C梯度复合结合层的制备及表征 | 第27-34页 |
| 3.1.1 Me-C梯度复合结合层沉积参数的确定 | 第27-32页 |
| 3.1.2 Me-C梯度复合结合层厚度 | 第32-33页 |
| 3.1.3 Me-C梯度复合结合层的结合强度 | 第33-34页 |
| 3.2 不同Me-C二元非晶碳膜的成分结构及性能表征 | 第34-48页 |
| 3.2.1 沉积态Me-C二元非晶碳膜的成分结构及性能表征 | 第34-41页 |
| 3.2.2 热氧化处理对Me-C二元非晶碳膜成分、结构及性能的影响 | 第41-48页 |
| 3.3 Mo-Al-C、Ti-Si-C三元非晶碳膜的热稳定性能表征 | 第48-69页 |
| 3.3.1 Mo-Al-C三元非晶碳膜的热稳定性能表征 | 第49-58页 |
| 3.3.2 Ti-Si-C三元非晶碳膜的热稳定性能表征 | 第58-69页 |
| 4 结论 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 参考文献 | 第73-76页 |
